進(jìn)入展臺在線留言

歡迎聯(lián)系我

有什么可以幫您,？在線咨詢

電子顯微鏡樣品導(dǎo)電薄膜制造裝置-鋨等離子體鍍膜機(jī)

來源：秋山科技（東莞）有限公司 2024年12月25日 13:12

電子顯微鏡樣品導(dǎo)電薄膜制造裝置-鋨等離子體鍍膜機(jī)

用鋨離子鍍膜
機(jī)電鏡觀察　解決您的難題,！
　它對于防止充電、減少顆粒感和熱損傷非常有效,。

概述

鋨等離子鍍膜機(jī)是一種主要用于SEM樣品的導(dǎo)電薄膜生產(chǎn)裝置,，采用“使用直流輝光放電的負(fù)輝光相區(qū)域的等離子成膜方法”,。導(dǎo)電鋨薄膜可以使用獲得的直流等離子體CVD方法形成（在負(fù)輝光相區(qū)域內(nèi)成膜）。自動操作允許任何人安全地沉積鋨薄膜并具有良好的再現(xiàn)性,。

該產(chǎn)品陣容包括鋨薄膜專用型號和配備使用萘的等離子聚合膜機(jī)構(gòu)的兩用型號,。可選配超薄膜形成機(jī)構(gòu),、親水處理機(jī)構(gòu),、深樣品機(jī)構(gòu),，支持各種應(yīng)用。
此外,，除了傳統(tǒng)的開關(guān)型外,，鋨薄膜型號的產(chǎn)品陣容中還新增了觸摸屏型。

原則

對于要用掃描電子顯微鏡（SEM）拍照的樣品,，必須在樣品表面形成導(dǎo)電薄膜，以防止其因電子束照射而帶電,。
傳統(tǒng)上,，導(dǎo)電薄膜是使用濺射或金氣相沉積方法形成的。然而,，人們擔(dān)心樣品表面的顆粒度以及樣品熱損傷造成的損壞,。
因此，Philgen 開發(fā)了鋨等離子體鍍膜機(jī),，這是一種可以利用直流等離子體 CVD（負(fù)輝光相區(qū)域成膜）方法形成導(dǎo)電鋨薄膜的設(shè)備,。
當(dāng)將少量4氧化鋨（OsO4）氣體/萘氣體（C10H18）引入真空室中并發(fā)生輝光放電時(shí)，瞬間變成等離子體狀態(tài),，分為正輝光相區(qū)和負(fù)輝光相區(qū),。
此時(shí)，電離的分子立即附著并沉積在置于陰極板負(fù)輝相區(qū)域的樣品表面上,，形成非晶態(tài)鋨薄膜/等離子體聚合膜（萘）,。
鋨薄膜是非晶態(tài)的，因此不會對樣品造成熱損傷,，并且當(dāng)用SEM對涂層樣品進(jìn)行拍照時(shí),，可以獲得極其清晰的圖像，沒有顆粒感,。

與其他方法的比較

◆關(guān)于鋨薄膜

?無粒度 - 人類淋巴細(xì)胞

鋨涂層

放大倍數(shù)：50,000x

濺射鍍膜 (Pt-Pd)

放大倍數(shù)：50,000x

　由于鋨薄膜是非晶態(tài)的,，沒有顆粒感，可以清晰地拍攝樣品表面,。
　濺射涂層樣品顯示出顆粒狀,。

? 良好的環(huán)繞性 - 抗破洞

鋨涂層

放大倍數(shù)：50,000x

非拍攝

放大倍率：50,000x

　通過將氧化鋨氣化后成膜，即使是凹凸區(qū)域,，也能夠以良好的覆蓋率進(jìn)行涂敷,。
　無需充電即可拍攝清晰的照片。

?無熱損傷-硝酸安

鋨涂層

↓

放大倍數(shù)：1,000x

金沉積法

↓

放大倍數(shù)：2,000x

　沒有加熱的過程,，可以在室溫下成膜,，因此對樣品沒有熱損傷。
　經(jīng)過金蒸發(fā)預(yù)處理的樣品因熱損傷而出現(xiàn)裂紋,。 ?金屬鋨的熔點(diǎn) 　高達(dá)2,700℃,，

不會被電子束損壞,，是一種極其堅(jiān)固的薄膜。 ?無污染（在鋨離子氣氛中形成的膜）

◆關(guān)于等離子聚合膜（萘制碳?xì)浠衔锬ぃ?br/>

?韌性（應(yīng)用于FIB）
　這是一種堅(jiān)韌的膜,，可以承受FIB中使用的鎵離子,。

?耐熱性?

絕緣性

?無顆粒感（碳?xì)浠衔锏入x子聚合膜是無定形的）

?良好的包裹性（萘氣化后形成膜）

?無熱損傷（無加熱過程，（在室溫下形成膜）

?無電子束損傷

應(yīng)用

鋨薄膜機(jī)構(gòu)（觸摸屏型/開關(guān)型） ?SEM樣品用導(dǎo)電薄膜 ?SEM,、TEM樣品的防污染?AFM 樣品保護(hù)膜 ?SPM樣品用導(dǎo)電保護(hù)膜 ?SPM懸臂膜保護(hù)	等離子聚合成膜機(jī)理 ?FIB樣品的保護(hù)膜? 防止包埋樹脂與樣品之間的剝離? 氟樹脂涂層 ?。?/span>萘-鋨混合涂層） ?TEM網(wǎng)格支撐膜 ?TEM超薄切片的防漂移
導(dǎo)電超薄膜形成機(jī)制（可選） ?FESEM對絕緣體超細(xì)結(jié)構(gòu)觀察 ?ESCA和AES對絕緣體表面信息進(jìn)行定量分析加固?AFM樣品的防靜電?STM ?TEM樣品的導(dǎo)電（僅限混合氣體法）	親水處理機(jī)制（可選） ?氟樹脂表面鋨涂層預(yù)處理等? 防止包埋樹脂與樣品之間剝離?改善潤濕性 ?TEM支撐膜表面親水化?TEM 網(wǎng)格親水化? 金剛石刀刀刃超親水化用于切片機(jī)
深樣品機(jī)構(gòu)（可選） ?適合涂覆較高的樣品

相關(guān)產(chǎn)品

免責(zé)聲明

凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品,，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載,、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用,，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者,，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任,。
本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息,，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對其真實(shí)性負(fù)責(zé),，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體,、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí),，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任,。
如涉及作品內(nèi)容,、版權(quán)等問題，請?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利,。

電子顯微鏡樣品導(dǎo)電薄膜制造裝置-鋨等離子體鍍膜機(jī)

免責(zé)聲明

聯(lián)系我們

關(guān)注我們