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場(chǎng)發(fā)射電鏡是一種高精密度的電子光學(xué)儀器
場(chǎng)發(fā)射電鏡(FieldEmission Scanning Electron Microscope，F(xiàn)ESEM)是一種高精密度的電子光學(xué)儀器,，廣泛應(yīng)用于材料科學(xué),、生物學(xué)、地質(zhì)學(xué)等領(lǐng)域,。為了確保其正常運(yùn)行和延長(zhǎng)使用壽命,，需要對(duì)場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡進(jìn)行定期的維護(hù)和保養(yǎng)。
一,、環(huán)境條件控制
1.溫度與濕度：保持電鏡室內(nèi)的溫度和濕度穩(wěn)定,，避免溫度和濕度對(duì)設(shè)備的影響。
2.無(wú)塵環(huán)境：盡量將設(shè)備放置在無(wú)塵環(huán)境中,，以減少灰塵對(duì)設(shè)備內(nèi)部元件的污染,。
3.減震防震：確保設(shè)備放置在穩(wěn)固的工作臺(tái)上，避免震動(dòng)對(duì)設(shè)備性能的影響,。
4.磁場(chǎng)干擾：避免強(qiáng)磁場(chǎng)干擾,，確保設(shè)備的正常運(yùn)行。
5.接地良好：確保設(shè)備接地良好,，防止靜電積累對(duì)設(shè)備造成損害,。
二、清潔設(shè)備
1.表面清潔：每天工作結(jié)束后,，應(yīng)清理設(shè)備表面的灰塵,、污漬等雜物，保持設(shè)備干凈整潔,。
2.關(guān)鍵部件清潔：對(duì)于鏡片,、樣品倉(cāng)等關(guān)鍵部件，需要定期進(jìn)行深度清潔,，以確保其性能不受影響,。
三、真空系統(tǒng)維護(hù)
1.真空泵檢查：定期檢查真空泵油的油位和油質(zhì),，確保真空泵正常運(yùn)行,。
2.真空管路檢查：檢查真空管路和密封件，確保無(wú)泄漏現(xiàn)象,。
3.濾芯更換：定期對(duì)真空系統(tǒng)進(jìn)行清洗和更換濾芯,，以保持真空度的穩(wěn)定性。
四,、電子槍維護(hù)
1.燈絲電流檢查：定期檢查電子槍的燈絲電流,，確保其在正常范圍內(nèi),。
2.加速電壓檢查：檢查電子槍的加速電壓，確保其在安全范圍內(nèi),。
3.冷卻系統(tǒng)檢查：檢查電子槍的冷卻系統(tǒng),，確保冷卻水流量和溫度正常。
五,、透鏡系統(tǒng)維護(hù)
1.參數(shù)檢查：定期檢查透鏡的電流,、電壓等參數(shù)，確保其在正常范圍內(nèi),。
2.冷卻系統(tǒng)檢查：檢查透鏡的冷卻系統(tǒng),，確保冷卻水流量和溫度正常。
六,、檢測(cè)器維護(hù)
1.參數(shù)檢查：定期檢查檢測(cè)器的電壓,、電流等參數(shù)，確保其在正常范圍內(nèi),。
2.冷卻系統(tǒng)檢查：檢查檢測(cè)器的冷卻系統(tǒng),，確保冷卻水流量和溫度正常。
七,、電氣系統(tǒng)維護(hù)
1.線路檢查：定期檢查電氣線路,、插頭、開(kāi)關(guān)等元件,，確保連接牢固,，無(wú)松動(dòng)、破損等現(xiàn)象,。
2.散熱風(fēng)扇檢查：檢查電氣柜內(nèi)的散熱風(fēng)扇,，確保其正常運(yùn)行，避免因散熱不良導(dǎo)致電器元件損壞,。
八,、場(chǎng)發(fā)射電鏡的操作注意事項(xiàng)
1.細(xì)心操作：在操作過(guò)程中，應(yīng)細(xì)心觀察電鏡狀態(tài),，洞察非常態(tài)現(xiàn)象,，將故障防患于未然。
2.及時(shí)排除故障：出現(xiàn)故障時(shí)要冷靜分析,，從報(bào)錯(cuò)、操作狀態(tài)著手,，首先排除軟件故障,，再分析硬件故障，必要時(shí)及時(shí)與廠商專(zhuān)業(yè)維修人員溝通,。
3.正確處理試樣：保持試樣清潔,、干燥和具有良好的導(dǎo)電性,、導(dǎo)熱性，從加速電壓,、焦距,、探測(cè)器模式等多方面正確處理特性各異的試樣。
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