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蓋米助力液體高效滅菌|熱水級聯(lián)系統(tǒng)的GEMU閥門應用
在半導體制造領域，確保晶圓處理過程中介質流量和壓力的精準控制對于產(chǎn)品質量至關重要。流量的波動，通常由出口的開關操作引起，可能會對晶圓的質量造成不利影響,。在這一背景下，背壓控制技術發(fā)揮著至關重要的作用,，它能夠保證在各個出口獨立控制的情況下,，管線中的流量與壓力依然保持恒定。
以化學機械拋光（CMP）漿料應用為例：
這一步驟對于晶圓的拋光至關重要,。通過精確控制漿料的供應量,，可以優(yōu)化材料的去除過程,。背壓控制確保了流量的穩(wěn)定性，從而保障了CMP過程的均勻性和效率,，這對于提升晶圓加工質量和最終產(chǎn)品性能具有決定性意義,。
工藝流程圖
解決方案
蓋米推出GEMü C53 iComLine電動控制閥，憑借其精確的控制精度和靈活的控制特性,，成為實現(xiàn)背壓控制的理想選擇,。
方案優(yōu)勢
ADVANTAGES
結合兩款成熟的蓋米產(chǎn)品，提供全面的一體化解決方案,；GEMü C53 iComLine控制閥確保了介質流量的精確控制,。GEMü C33壓力傳感器，提供精確的壓力測量,。
提供多種連接類型,，包括擴口、入珠,、PrimeLock,、Nexus Connect®，以滿足多樣化的工藝需求,；連接尺寸范圍廣泛,，從1/4"到3/4"，適用于不同的設備和工藝要求,。
所有與介質接觸的部件均采用PFA或PTFE材料，確保耐腐蝕性和純凈度,。
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蓋米以技術創(chuàng)新和桌越品質,，助力半導體制造行業(yè)邁向更高標準。我們期待與您攜手,，共同提升工藝效率,。如需了解更多信息，請聯(lián)系蓋米閥門中國,。
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