手機版
化工儀器網(wǎng)手機版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關(guān)注視頻號
蓋米助力液體高效滅菌|熱水級聯(lián)系統(tǒng)的GEMU閥門應用
在半導體制造領域,，確保晶圓處理過程中介質(zhì)流量和壓力的精準控制對于產(chǎn)品質(zhì)量至關(guān)重要。流量的波動,，通常由出口的開關(guān)操作引起,，可能會對晶圓的質(zhì)量造成不利影響,。在這一背景下，背壓控制技術(shù)發(fā)揮著至關(guān)重要的作用,，它能夠保證在各個出口獨立控制的情況下,，管線中的流量與壓力依然保持恒定,。
以化學機械拋光（CMP）漿料應用為例：
這一步驟對于晶圓的拋光至關(guān)重要。通過精確控制漿料的供應量,，可以優(yōu)化材料的去除過程,。背壓控制確保了流量的穩(wěn)定性，從而保障了CMP過程的均勻性和效率,，這對于提升晶圓加工質(zhì)量和最終產(chǎn)品性能具有決定性意義,。
工藝流程圖
解決方案
蓋米推出GEMü C53 iComLine電動控制閥，憑借其精確的控制精度和靈活的控制特性,，成為實現(xiàn)背壓控制的理想選擇,。
方案優(yōu)勢
ADVANTAGES
結(jié)合兩款成熟的蓋米產(chǎn)品，提供全面的一體化解決方案,；GEMü C53 iComLine控制閥確保了介質(zhì)流量的精確控制,。GEMü C33壓力傳感器，提供精確的壓力測量,。
提供多種連接類型,，包括擴口、入珠,、PrimeLock,、Nexus Connect®，以滿足多樣化的工藝需求,；連接尺寸范圍廣泛,，從1/4"到3/4"，適用于不同的設備和工藝要求,。
所有與介質(zhì)接觸的部件均采用PFA或PTFE材料,，確保耐腐蝕性和純凈度。
適配產(chǎn)品推薦
（左右滑動查看更多）
蓋米以技術(shù)創(chuàng)新和桌越品質(zhì),，助力半導體制造行業(yè)邁向更高標準,。我們期待與您攜手，共同提升工藝效率,。如需了解更多信息,，請聯(lián)系蓋米閥門中國。
相關(guān)產(chǎn)品
免責聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品,，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品,，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品,。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,，應在授權(quán)范圍內(nèi)使用,，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者,，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責任,。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息,，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責,，不承擔此類作品侵權(quán)行為的直接責任及連帶責任。其他媒體,、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時,，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負版權(quán)等法律責任,。
- 如涉及作品內(nèi)容,、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利,。
采購中心