GEMU蓋米閥門解決方案|半導(dǎo)體工藝中的背壓與流量控制

來源：上海韋信自動化設(shè)備有限公司 2024年12月20日 17:23

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,，確保晶圓處理過程中介質(zhì)流量和壓力的精準(zhǔn)控制對于產(chǎn)品質(zhì)量至關(guān)重要,。流量的波動,，通常由出口的開關(guān)操作引起,，可能會對晶圓的質(zhì)量造成不利影響,。在這一背景下,，背壓控制技術(shù)發(fā)揮著至關(guān)重要的作用,，它能夠保證在各個(gè)出口獨(dú)立控制的情況下，管線中的流量與壓力依然保持恒定,。

以化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）漿料應(yīng)用為例：

這一步驟對于晶圓的拋光至關(guān)重要,。通過精確控制漿料的供應(yīng)量，可以優(yōu)化材料的去除過程。背壓控制確保了流量的穩(wěn)定性,，從而保障了CMP過程的均勻性和效率,，這對于提升晶圓加工質(zhì)量和最終產(chǎn)品性能具有決定性意義。

工藝流程圖

解決方案

蓋米推出GEMÜ C53 iComLine電動控制閥,，憑借其精確的控制精度和靈活的控制特性,，成為實(shí)現(xiàn)背壓控制的理想選擇。

蓋米HydraLine系列電子壓力計(jì)的配合使用，能夠?qū)崿F(xiàn)對壓力的精確測量,，進(jìn)一步確保生產(chǎn)線的穩(wěn)定性。

方案優(yōu)勢

ADVANTAGES

結(jié)合兩款成熟的蓋米產(chǎn)品，提供全面的一體化解決方案,；GEMÜ C53 iComLine控制閥確保了介質(zhì)流量的精確控制,。GEMÜ C33壓力傳感器，提供精確的壓力測量,。

提供多種連接類型,，包括擴(kuò)口,、入珠、PrimeLock,、Nexus Connect®,，以滿足多樣化的工藝需求,；連接尺寸范圍廣泛,，從1/4"到3/4",，適用于不同的設(shè)備和工藝要求,。

所有與介質(zhì)接觸的部件均采用PFA或PTFE材料，確保耐腐蝕性和純凈度。

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蓋米以技術(shù)創(chuàng)新和zhuo越品質(zhì),，助力半導(dǎo)體制造行業(yè)邁向更高標(biāo)準(zhǔn),。我們期待與您攜手,，共同提升工藝效率。如需了解更多信息,，請聯(lián)系蓋米閥門中國,。

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