理音液體顆粒計(jì)數(shù)器的原理及應(yīng)用

來源：上海翰森科學(xué)儀器有限公司 2024年11月23日 10:31

　　特點(diǎn): 最小檢測粒徑0.2m,流量每分鐘10毫升,；粒徑范圍 (5通道)0.2m,0.3m,0.5m,1m,2m；集成的泄漏傳感器和報(bào)警輸出,；藍(lán)寶石傳感器用于KS-42BF,。

　　采用的光散射法原理,，可滿足電子化學(xué)品，高純化學(xué)試劑,，配方化學(xué)品等藥液中20nm-150um的粒徑測量需求,。

　　原理：光與顆粒發(fā)生作用主要分為三類，幾何光學(xué),、米氏散射和瑞利散射,。當(dāng)顆粒粒徑遠(yuǎn)大于光波長時(shí)，以幾何光學(xué) 為主,；當(dāng)粒徑與波長相近時(shí),，以米氏散射為主；當(dāng)粒徑遠(yuǎn) 小于波長時(shí),，發(fā)生的是瑞利散射,。液體顆粒計(jì)數(shù)器根據(jù)光與顆粒作用的原理設(shè)計(jì)傳感器結(jié)構(gòu),，將計(jì)數(shù)器分為光阻法和光散射法兩類。

　　應(yīng)用：可檢測從純水到氫氟酸各種各樣的液體,。液體計(jì)數(shù)器的使用是為了控制化學(xué)品中的粒子,，如半導(dǎo)體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料，超純水和清洗用化學(xué)劑比如堿,，有機(jī)溶劑和氫氟酸,。另外，也可檢測化學(xué)機(jī)械拋光中大粒徑的研磨液,，測試方法包括在線和離線測試,。

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