特點(diǎn): 最小檢測粒徑0.2m,流量每分鐘10毫升,;粒徑范圍 (5通道)0.2m,0.3m,0.5m,1m,2m;集成的泄漏傳感器和報(bào)警輸出,;藍(lán)寶石傳感器用于KS-42BF,。
采用的光散射法原理,,可滿足電子化學(xué)品,高純化學(xué)試劑,,配方化學(xué)品等藥液中20nm-150um的粒徑測量需求,。
原理:光與顆粒發(fā)生作用主要分為三類,幾何光學(xué),、米氏散 射和瑞利散射,。當(dāng)顆粒粒徑遠(yuǎn)大于光波長時(shí),以幾何光學(xué) 為主,;當(dāng)粒徑與波長相近時(shí),,以米氏散射為主;當(dāng)粒徑遠(yuǎn) 小于波長時(shí),,發(fā)生的是瑞利散射,。液體顆粒計(jì)數(shù)器根據(jù)光 與顆粒作用的原理設(shè)計(jì)傳感器結(jié)構(gòu),,將計(jì)數(shù)器分為光阻法 和光散射法兩類。
應(yīng)用:可檢測從純水到氫氟酸各種各樣的液體,。 液體計(jì)數(shù)器的使用是為了控制化學(xué)品中的粒子,,如半導(dǎo)體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料,超純水和清洗用化學(xué)劑比如堿,,有機(jī)溶劑和氫氟酸,。 另外,也可檢測化學(xué)機(jī)械拋光中大粒徑的研磨液,,測試方法包括在線和離線測試,。
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