主機(jī)是便攜式半導(dǎo)體氣體檢測(cè)儀XPS-7II
目標(biāo)氣體 半導(dǎo)體氣體
檢測(cè)原理 電化學(xué),、電化學(xué)+裂解器
取樣方法 萃取
質(zhì)量 約1.3公斤
通過(guò)更換傳感器單元，可以檢測(cè)各種半導(dǎo)體氣體,。
用于有毒氣體半導(dǎo)體工廠的氣體泄漏檢查和濃度測(cè)量,。

特點(diǎn)：
■ 世界上*小的便攜式氣體檢測(cè)儀，用于 NF3 檢測(cè),。無(wú)需任何可選設(shè)備即可檢測(cè) NF3,。
■ 校準(zhǔn)后的氣體傳感器單元可在現(xiàn)場(chǎng)更換，減少維護(hù)工作,。
■ 大液晶屏
■ 2路電源：干電池和交流電源（可選）
■ 小巧輕便
■ 警報(bào)聲音的速度根據(jù)氣體濃度而變化,。

可選測(cè)量氣體：

氨[NH3]，硅烷[SiH4],，二氯硅烷[SiH2Cl2],，砷烷[AsH3]，膦[PH3],，硒化氫【H2Se】,，鍺烷【GeH4】，氯[Cl2],，氯化氫【HCI】,，氫氟化物【HF]，溴化氫【HBr】,，一氧化氮【NO】,，硫化氫【H2S】，一氧化碳【CO】,，二硅烷【Si2H6】,，氟【F2】,，臭氧【O3】，三氟化氮【NO3】

中崎目前已獲得CCS晰寫速,、SEN日森,、EYE巖崎、USHIO牛尾,、FUNATECH船越龍,、HIKARIYA光屋、SERIC索萊克,、REVOX萊寶克斯,、ORIHARA折原、SONIC索尼克,、YUASA尤安薩,、EYELA東京理化、SANKO三高,、NEWKON新光,、HEIDON新東科學(xué)、SIBATA柴田科學(xué),、HORIBA堀場(chǎng),、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三豐,、JIKCO吉高,、NPM日脈、AND艾安德,、ONOSOKKI小野,、PISCO碧士克、TOPCON拓普康,、NDK電波工業(yè),、STANLEY史丹利、HIOS好握速,、SATA世達(dá),、HAKKO白光、TOHNICHI東日,、NITTO KOHKI日東工器等多家品牌授權(quán)認(rèn)證,。