電感耦合等離子體質(zhì)譜儀是一種將ICP技術(shù)和質(zhì)譜結(jié)合在一起的分析儀器,。

電感耦合等離子體質(zhì)譜儀的結(jié)構(gòu)組成與作用：

1、進(jìn)樣系統(tǒng)：用于將待測(cè)樣品引入儀器,。通常包括自動(dòng)進(jìn)樣器、霧化器,、霧化室等部件,。自動(dòng)進(jìn)樣器可以自動(dòng)將樣品溶液導(dǎo)入到霧化器中，霧化器則將樣品溶液轉(zhuǎn)化為氣溶膠形式,，以便進(jìn)入等離子體進(jìn)行電離,。

2、離子源系統(tǒng)：包括等離子體發(fā)生器,、進(jìn)樣錐,、束縛器和離子透鏡等組件。等離子體發(fā)生器產(chǎn)生高溫等離子體,，將氣溶膠中的樣品原子或分子電離成離子,。進(jìn)樣錐引導(dǎo)離子流進(jìn)入束縛器，束縛器通過(guò)電場(chǎng)作用束縛離子流,，使其呈現(xiàn)出緊湊的軸對(duì)稱狀態(tài),。離子透鏡則將束縛的離子加速并聚焦，使其快速地進(jìn)入質(zhì)量分析系統(tǒng),。

3,、質(zhì)量分析系統(tǒng)：通常由四級(jí)桿質(zhì)量過(guò)濾器、離子光學(xué)系統(tǒng),、質(zhì)量掃描器,、離子檢測(cè)器等組成。四級(jí)桿質(zhì)量過(guò)濾器根據(jù)離子的質(zhì)荷比進(jìn)行分離,，離子光學(xué)系統(tǒng)則負(fù)責(zé)將離子傳輸?shù)劫|(zhì)量掃描器中進(jìn)行檢測(cè),。離子檢測(cè)器將離子信號(hào)轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，以便后續(xù)的數(shù)據(jù)處理分析,。

4,、真空系統(tǒng)：為了保持質(zhì)量分析系統(tǒng)的高靈敏度和穩(wěn)定性,，ICP-MS需要在高真空狀態(tài)下工作。真空系統(tǒng)通常由分子泵,、機(jī)械泵,、真空計(jì)等組成。

5,、數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)：用于接收,、處理和分析離子檢測(cè)器輸出的信號(hào)。通常包括放大器,、模數(shù)轉(zhuǎn)換器,、數(shù)據(jù)處理軟件等部件。