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電子探針X射線微區(qū)分析儀的分析對象從幾厘米到幾微米,；X射線光電子能譜儀（XPS）分析對象從幾毫米到幾微米,；掃描探針顯微鏡（SPM）觀察范圍從100微米到幾納米。
實現(xiàn)微區(qū)超高靈敏度分析技術：
1,、高亮度肖特基發(fā)射體
場發(fā)射電子槍采用的肖特基發(fā)射體比一般傳統(tǒng)SEM使用的發(fā)射體針尖直徑更大,，輸出更高,。即可以保持其高亮度，還可提供高靈敏度分析的穩(wěn)定大電流,。
2,、EPMA電子光學系統(tǒng)
電子光學系統(tǒng)，聚光透鏡盡可能的接近電子槍一側,，交叉點不是靠聚光透鏡形成,，而是由安裝在與物鏡光闌相同位置上，具有獨立構成與控制方式的可變光闌透鏡來形成交叉點的（日本：第4595778號）,。簡單的透鏡結構,，既能獲得大束流，同時全部電流條件下設定合適的打開角度,，將電子束壓縮到細,。當然是不需要更換物鏡光闌的。
3,、超高真空排氣系統(tǒng)
電子槍室,、中間室、分析腔體之間分別安裝有篩孔（orifice）間隔方式的2級差動排氣系統(tǒng),。中間室與分析腔體間的氣流孔做到小,，以控制流入中間室的氣體，使電子槍室始終保持著超高真空,，確保發(fā)射體穩(wěn)定工作,。
4、高靈敏度X射線譜儀
最多可同時搭載5通道兼顧高靈敏度與高分辨率的4英寸X射線譜儀,。52.5°的X射線取出角在提高了X射線信號的空間分辨率的同時,，又可減小樣品對X射線的吸收，實現(xiàn)高靈敏度的分析,。
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