手機版
化工儀器網(wǎng)手機版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關(guān)注視頻號
靜電吸盤/陶瓷加熱器
通過將金屬電極放置在陶瓷內(nèi)部并將它們燒結(jié)在一起，可以制造靜電吸盤和陶瓷加熱器,。
我們擁有一系列靜電吸盤/陶瓷加熱器,，可充分利用各種材料技術(shù)來滿足用戶需求。我們根據(jù)等離子體環(huán)境領(lǐng)域和電子束使用領(lǐng)域等應(yīng)用提供從開發(fā)到原型設(shè)計階段的產(chǎn)品,。
特點/應(yīng)用
(1) 帶加熱器靜電吸盤(ESC/加熱器)
[材質(zhì)：AlN（氮化鋁）]
通過控制AlN的體積電阻率,，可以獲得較寬的溫度范圍和足夠的吸附能力。
通過高度靈活的加熱器設(shè)計可以實現(xiàn)出色的溫度均勻性,。
由于AlN和電極是一體燒結(jié)的,，因此不會因電極劣化而隨時間發(fā)生變化。
還提供采用粘合技術(shù)的陶瓷空心結(jié)構(gòu),。
(2)靜電吸盤(ESC)
[材質(zhì)：Al 2 O 3 (氧化鋁)]
?采用層壓技術(shù),，可實現(xiàn)高的面內(nèi)溫度均勻性。
?通過使用高純度氧化鋁,，可以減少金屬污染。
?在鹵素氣體等離子環(huán)境下具有優(yōu)異的耐久性,。
[材質(zhì)：噴涂Al 2 O 3 ]
使用我們的氧化鋁噴涂技術(shù)可以形成致密的絕緣層,。
與氧化鋁板型相比，其制造成本更低,。
與更便宜的薄膜類型相比,，它具有更高的耐用性。
(3)陶瓷加熱器
[材質(zhì)：AlN（氮化鋁）]
通過使用高導(dǎo)熱率的AlN,，可以實現(xiàn)優(yōu)異的溫度均勻性（±0.3%）,。
我們擁有IR相機、TC晶圓等特色檢測環(huán)境,。
技術(shù)介紹
◆12英寸卡盤平面度精度
平整度0.2μm以下
◆形狀控制
根據(jù)晶圓形狀形成卡盤形狀（凹凸控制）,。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品,，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載,、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用,，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”,。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任,。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品,，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負(fù)責(zé),，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任,。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時,，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源,，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容,、版權(quán)等問題,，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利,。
采購中心