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光刻烤膠機主要用于將光刻膠固定在硅片上,，形成穩(wěn)定的電路結構,。它是通過精確控制烤膠的溫度和時間,，確保光刻膠能夠均勻,、穩(wěn)定地附著在硅片上,，從而提高產品的質量和可靠性。該設備被廣泛應用于集成電路制造,、光電子器件制造,、微納加工等領域。
光刻烤膠機的核心技術主要體現(xiàn)在其準確的光刻和烤膠工藝上,。光刻工藝利用光化學反應將電路圖案精確地轉移到硅片上,，而烤膠工藝則是將光刻膠固定在硅片上。光刻烤膠機通過高精度的光學系統(tǒng)和精密的機械結構,，實現(xiàn)了對光刻和烤膠過程的精確控制,，從而保證了電路圖案的準確性和一致性。
博大精科提供的HTL-350光刻烤膠機(晶圓烤膠機)板表面溫度均勻,，溫度100℃以內,，精度0.1~0.3°C，200℃以內,，精度%0.5℃,可選帶有保溫蓋,，整個加熱區(qū)形成一個保溫腔，大大提高溫度均勻度,，也起到防塵作用,。可選擇帶有負壓功能,，表面帶有若干吸附孔,，可使被加熱材料與加熱板表面緊密貼合，起到受熱均勻效果,。
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