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怎樣選擇合適的探針臺

來源:北京錦正茂科技有限公司   2024年10月14日 10:03  

隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展,,越來越多的精密細(xì)小器件逐步開放和增長,作為對細(xì)小器件檢測的bi備儀器—探針臺也顯得越來越重要,。探針臺可以將待測器件進(jìn)行放大幾十到上千倍,,可將微觀層面的東西搬到宏觀上來進(jìn)行研究,,連接測試儀器儀表進(jìn)行測量。那么如何選擇一款適合的探針臺顯得尤為重要,。

第一,,我們需要選擇合適尺寸的樣品座,會有2英寸,、4英寸,、6英寸、8英寸和12英寸之分,,如果我們測試的樣品是大的晶圓或器件,,我們還需要注意的是,探針是否能滿足扎到樣品的任意位置,。

第二,,我們選用探針臂的數(shù)量和類型,可以最多同時搭載6個探針臂,,探針臂的類型有直流臂,、射頻臂和微波臂,會配備相應(yīng)的探針。

第三,,因為不同的測試,,我們需要對應(yīng)的測試環(huán)境,我們可以選擇是否帶有磁場,,磁場是固定的還是變磁場,,對應(yīng)的就要配備永磁鐵和電磁鐵。

第四,,我們的測試是否有溫度需要,,我們需求的溫度范圍是多少,有室溫,、4K-室溫階段(真空下),、有液氮溫度-800K(真空下),對應(yīng)的是室溫手動探針臺,、4K閉循環(huán)探針臺,、液氮高低溫真空探針臺。

第五,,我們需要明白自己的測試樣品是多大的電極點或者Pad點,,需要選擇一款適合自己顯微鏡系統(tǒng),有最小識別3μm,、1μm,、0.1μm之分,因為隨著顯微鏡的放大倍數(shù)的增大,,相應(yīng)的顯微鏡的工作距離會縮短(物鏡到樣品表面的距離),,我們要考慮關(guān)于工作距離的要求,同時一般建議我們探針直徑最好是不大于Pad點的四分之一,,利于扎針和測試,。

第六,如果我們探針臺的放置位置有空間尺寸的限制,,我們需要考慮整體探針臺的大小尺寸,。

總體來說,如何購買一臺適合自己的探針臺,,我們需要考慮多方面的內(nèi)容,。可以根據(jù)每家探針臺廠家的參數(shù)及價格進(jìn)行對比,,最終可以買到一臺適合自己需求的設(shè)備,。

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