場發(fā)射掃描電鏡的原理和維護措施

來源：深圳華普通用科技有限公司 2024年09月12日 09:00

　　場發(fā)射掃描電鏡是一種高分辨率的電子顯微鏡,，它采用尖端肖特基熱場發(fā)射技術(shù)，具有許多優(yōu)勢和廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,，它的工作原理主要包括以下幾個步驟：

　　1.電子源：使用場發(fā)射電子槍作為電子源，通過強電場使金屬的電子脫離束縛,，形成高亮度,、高相干性的電子束。

　　2.電子光學系統(tǒng)：電子束經(jīng)過一系列的電磁透鏡和光闌進行聚焦,、偏轉(zhuǎn)和整形，最終形成一個細小的探針,。

　　3.掃描系統(tǒng)：掃描線控制電子東在樣品表面進行逐行掃描,，與樣品相互作用產(chǎn)生二次電子、背散射電子等信號,。

　　4.信號檢測與成像：配備多種探測器收集不同種類的信號,，并經(jīng)過放大,、處理后生成反映樣品表面形貌,、結(jié)構(gòu)和成分信息的圖像。

　　5.真空系統(tǒng)：維持局真空環(huán)境以確保電子東能夠在樣品表面產(chǎn)生足夠的信號,，并防止電子槍和樣品受到污染。

　　為了保證場發(fā)射掃描電鏡的正常運行和延長其使用壽命,，需要進行嚴格的日常維護和管理：

　　1.環(huán)境條件控制：保持電鏡室內(nèi)的溫度,、濕度、排氣,、震動,、噪聲、磁場和接地等條件穩(wěn)定,，避免對電子束產(chǎn)生干擾。

　　2.光學系統(tǒng)維護：定期檢查和維護電子光學系統(tǒng)的燈絲和光闌,，確保其處于良好狀態(tài),。

　　3.真空系統(tǒng)維護：保持鏡筒和樣品室的高真空度，定期檢查真空泵的工作狀態(tài)并進行維護保養(yǎng),。

　　4.樣品處理：確保待觀察樣品干燥、無污染物,，并選擇合適的制樣方法進行處理。

相關(guān)產(chǎn)品

凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品,，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載,、摘編或利用其它方式使用上述作品,。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用,，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”,。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責任,。
本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品,，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責,，不承擔此類作品侵權(quán)行為的直接責任及連帶責任,。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時,，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源,，并自負版權(quán)等法律責任。
如涉及作品內(nèi)容,、版權(quán)等問題,，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利,。

聯(lián)系我們