YP-150I半導體晶圓表面缺陷檢查燈原理應用

表面瑕疵燈用于人工檢測工件表面灰塵、刮痕,、毛刺,、凹凸、油墨等瑕疵點,。

檢測原理是：利用適合的LED 燈源,，通過光學透鏡和濾光片折射出特殊的光源，照在工件表面折射出光路,，使得操作員肉眼可識別出工件表面的瑕疵,。

YP-150I 表面檢查燈 YP-250I

基本信息高強度鹵素光源裝置

超精密平面檢測的理想選擇！通過驚人的照明,，可以檢測小于 0.2 μm 的缺陷,。

“YP-150I”是一種用于顯微觀察的照明裝置

用于檢測最終成品表面上的各種缺陷，如異物,、劃痕,、拋光不均勻、霧度,、滑移等,，是半導體加工過程中勞動強度的一種。觀察晶圓和液晶板,、玻璃表面,、部件表面的瑕疵，廣泛應用于鏡片,、液晶玻璃,、手機屏幕、汽車玻璃，晶圓片,、模具,、汽車、手機保護膜,、柔性基板,、網版絲印等行業(yè)

表面的照度可超過 400,000 Lx。

另外,，由于采用鹵素燈作為光源,，色溫高，

光照不均勻的情況很少,，光照強度穩(wěn)定銳利,。

姊妹機“YP-250I”也可用于 8 英寸。

■ 光源采用鹵素燈

■ 可以將樣品表面照射到400,000 Lx或更高

■ 熱量的影響降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3

■ 高照度觀察和低照度觀察可一鍵切換

請用于超精密平面檢測,！

高亮度鹵素光源裝置“YP-250I”是用于檢測劃痕,、拋光不均勻、霧度和滑移等各種缺陷的微觀察照明裝置,。

采用鹵素燈作為光源,，色溫高，減少照明不均,，照明***穩(wěn)定銳利,。

此外，本機為“YP-150I”的姊妹機,，有螺旋槳風機型和管道風機型可供選擇,，可根據應用進行使用。

YP-150I,，可精確檢查到1um 以下的刮痕或微粒子,，幾乎可檢測出所有塵埃。我們有不同強度及樣式的表面瑕疵檢測燈,，如果是測試要求比較高的大半導體廠，可使用強度為30萬LX以上的檢查燈,，如果是測試要求沒那么高的一般封測廠,，可采用光源強度達 5萬LX的檢查燈。檢測燈使用壽命為2萬小時以上,，比傳統(tǒng)的檢查燈壽命長且效用增強 10 倍,。