YP-150I半導(dǎo)體晶圓表面缺陷檢查燈原理應(yīng)用
YP-150I半導(dǎo)體晶圓表面缺陷檢查燈原理應(yīng)用
表面瑕疵燈用于人工檢測工件表面灰塵,、刮痕,、毛刺、凹凸,、油墨等瑕疵點,。
檢測原理是:利用適合的LED 燈源,通過光學(xué)透鏡和濾光片折射出特殊的光源,,照在工件表面折射出光路,,使得操作員肉眼可識別出工件表面的瑕疵。
YP-150I 表面檢查燈 YP-250I
基本信息高強度鹵素光源裝置
超精密平面檢測的理想選擇,!通過驚人的照明,,可以檢測小于 0.2 μm 的缺陷。
“YP-150I”是一種用于顯微觀察的照明裝置
用于檢測最終成品表面上的各種缺陷,,如異物,、劃痕、拋光不均勻,、霧度,、滑移等,是半導(dǎo)體加工過程中勞動強度的一種,。觀察晶圓和液晶板,、玻璃表面、部件表面的瑕疵,,廣泛應(yīng)用于鏡片,、液晶玻璃、手機屏幕,、汽車玻璃,,晶圓片、模具,、汽車,、手機保護膜、柔性基板,、網(wǎng)版絲印等行業(yè)
表面的照度可超過 400,000 Lx,。
另外,由于采用鹵素?zé)糇鳛楣庠?,色溫高?/p>
光照不均勻的情況很少,,光照強度穩(wěn)定銳利。
姊妹機“YP-250I”也可用于 8 英寸,。
■ 光源采用鹵素?zé)?/p>
■ 可以將樣品表面照射到400,000 Lx或更高
■ 熱量的影響降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3
■ 高照度觀察和低照度觀察可一鍵切換
請用于超精密平面檢測,!
高亮度鹵素光源裝置“YP-250I”是用于檢測劃痕、拋光不均勻,、霧度和滑移等各種缺陷的微觀察照明裝置,。
采用鹵素?zé)糇鳛楣庠矗珳馗?,減少照明不均,,照明***穩(wěn)定銳利。
此外,,本機為“YP-150I”的姊妹機,,有螺旋槳風(fēng)機型和管道風(fēng)機型可供選擇,可根據(jù)應(yīng)用進行使用,。
YP-150I,,可精確檢查到1um 以下的刮痕或微粒子,幾乎可檢測出所有塵埃,。我們有不同強度及樣式的表面瑕疵檢測燈,,如果是測試要求比較高的大半導(dǎo)體廠,可使用強度為30萬LX以上的檢查燈,,如果是測試要求沒那么高的一般封測廠,,可采用光源強度達 5萬LX的檢查燈。檢測燈使用壽命為2萬小時以上,,比傳統(tǒng)的檢查燈壽命長且效用增強 10 倍,。
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