簡易微量金屬污染物回收裝置各個型號的特點

來源：深圳九州工業(yè)品有限公司 2024年09月05日 10:16

簡易微量金屬污染物回收裝置各個型號的特點

一,、SC-3100

●通過連接PC創(chuàng)建各種收集模式,，并從硅晶片的表面和側(cè)面（斜角部分）收集（采樣）微量金屬污染物,。

●設(shè)備引入簡單,，不需要太多外部資源，不占用太多空間,。

●由于工作是機(jī)械完成的，因此不需要操作員技能,，任何人都可以輕松取樣,。

●由于設(shè)備自動供給取樣化學(xué)品并移動支架，因此與SC-2000相比，可以減少工人造成的污染,。

二,、SC-8100

●具有即使在親水狀態(tài)的晶圓上也能收集污染物的功能，并且可以對硅以外的材料制成的晶圓或因體蝕刻等而導(dǎo)致表面變得粗糙的晶圓進(jìn)行采樣,。

●放寬了對晶圓條件和采樣化學(xué)品類型的限制,，使得可以回收重金屬以外的離子。

●當(dāng)然,，傳統(tǒng)的疏水表面采樣也是可能的,。

三、SC-9100

●具有即使是親水狀態(tài)的晶圓也能捕集污染物的功能,，可對硅以外的材料的晶圓或因整體蝕刻等導(dǎo)致表面粗糙的晶圓進(jìn)行取樣,。

●放寬了對晶圓條件和采樣化學(xué)品類型的限制，使得可以回收重金屬以外的離子,。

●當(dāng)然,，傳統(tǒng)的疏水表面采樣也是可能的。

●由于設(shè)備自動供給取樣化學(xué)品并移動支架,，因此與SC-8100相比,，可以減少工人造成的污染。

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