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小王子分享關(guān)于半導(dǎo)體曝光設(shè)備的價(jià)格
小王子分享關(guān)于半導(dǎo)體曝光設(shè)備的價(jià)格
半導(dǎo)體光刻設(shè)備目前對于半導(dǎo)體的高效量產(chǎn)來說是,，但據(jù)稱它是精密的機(jī)器,，而且價(jià)格昂貴。
半導(dǎo)體曝光設(shè)備中使用的光源的波長越短,，可以形成的圖案越精細(xì),，并且曝光設(shè)備變得越昂貴。據(jù)稱每個(gè)波長的成本為i-line約4億日元,、KrF約13億日元,、ArF干式約20億日元、ArF浸沒式約60億日元,、EUV約200億日元,。
電路越小，可以實(shí)現(xiàn)越快的信號傳輸和節(jié)能，但近年來,，由于小型化,，無法忽視工藝成本的增加，包括半導(dǎo)體曝光設(shè)備的價(jià)格,。
就半導(dǎo)體光刻設(shè)備所需的性能而言,，從半導(dǎo)體制造的成本角度來看，半導(dǎo)體光刻設(shè)備的吞吐量也是一個(gè)重要指標(biāo),。吞吐量是表示電路圖案曝光速度的性能,，隨著吞吐量的增加，每個(gè)硅芯片的制造成本（運(yùn)行成本）會降低,。這在半導(dǎo)體芯片的大規(guī)模生產(chǎn)過程中非常重要,。
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