用于顯微觀察的照明裝置,用于檢測 最終成品表面上的各種缺陷,,如異物,、劃痕、拋光不均勻,、霧度,、滑移等,是半導體加工過程中勞動強度的一種,。晶圓和液晶板1.可照明樣品表面范圍在400.000Lx以上,。
2. 因使用鹵素光源燈的光源,具有色溫度高,、光照不均的減少及非常穏定鋭利照明的特性,。
3. 冷反射鏡受熱影響是鋁鏡的1/3
4. 二段切換構造,可用按扭切換高照明観察及低照明観察,。
YP-150I...照度范圍ph30
YP-250I...照度范圍ph60
?。╕P-250I的通風機可選択螺旋式風扇或管道通風機形)
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