在半導體芯片制造過程中,，對生產環(huán)境的潔凈度要求非常高，必須禁止因粉塵顆粒,、工藝偏差等因素造成晶體短路或斷路，控制凈化環(huán)境下的作業(yè)現(xiàn)場中超微小顆粒物數(shù)量,，以保證產品質量和提升產品良率,，特別是對于0.1μm粒子的檢測至關重要。

在半導體芯片生產過程中,，粒子計數(shù)器主要應用于：

1. Fab廠的制造工藝檢測：在晶圓的光刻,、涂膠顯影,、刻蝕等多個工藝環(huán)節(jié)中，使用粒子計數(shù)器檢測環(huán)境中的塵埃粒子,，確保工藝的精確性,。

2. gao端封裝過程：在晶圓切割封裝過程中，粒子計數(shù)器同樣發(fā)揮著關鍵作用,，保證封裝質量,。

3. 半導體設備生產工藝的質量監(jiān)測：通過粒子計數(shù)器對設備工藝點進行監(jiān)控，確保生產過程的穩(wěn)定性和產品質量,。

參考法規(guī)和標準：

粒子計數(shù)器嚴格遵守ISO 21501-4法規(guī),，并滿足ISO 14644-1（2015）潔凈室懸浮粒子測試方法的要求，適用于class 1至6級的潔凈室環(huán)境,。

使用方法：

參照ISO14644-1（2015）法規(guī)的內容,，針對不同潔凈度等級下監(jiān)測粒徑的上限要求，通過法規(guī)內容的計算方法測算采樣點數(shù)及每個點采樣時間,，對儀器進行設定后,，按照該方法進行逐個點位測試。

KANOMAX公司推出的超小型塵埃粒子計數(shù)器3950-00,，同時監(jiān)測0.1μm和0.3μm的單位體積內的微小粒子個數(shù),，也可作為傳感器嵌入生產設備實時監(jiān)測作業(yè)現(xiàn)場的超微粒子，為凈化作業(yè)環(huán)境的潔凈度評定提供依據,，為芯片制造保駕護航,！

Kanomax塵埃粒子計數(shù)器3950-00,，不僅將經典品質傳承，而且實現(xiàn)了嵌入組裝在半導體制造等裝置中,。

既往產品尺寸難以嵌入半導體制造裝備中使用,，本產品通過壓倒性的小型化，使傳感器嵌入設備中使用變?yōu)楹啽阋仔小?/span>

致輕,、致小,，采樣量2.83L/min,，同時測試0.1μm、0.3μm微小粒子,，4.3英寸彩色觸摸屏顯示屏,，可使用附帶軟件在PC上顯示測試數(shù)據,。設有RS-485,、Ethernet、USB通訊接口,。

 0.1μm超小型粒子計數(shù)器KANOMAX 3950在半導體芯片制造環(huán)境中的應用