真空泵的工作原理是:
機(jī)驅(qū)動的高速旋轉(zhuǎn)葉片撞擊氣體分子,被撞擊的氣體分子碰撞到固定葉片后又被彈到下一個旋轉(zhuǎn)葉片上,,最終被送到排氣口,。旋轉(zhuǎn)葉片和固定葉片的方向相反,使分子難于逆行,。這種排氣方式,,排氣速度不因氣體種類而變。
真空泵的工作過程通??梢员环譃閮蓚€階段,,即抽氣階段和排氣階段。
在抽氣階段,,真空泵被啟動后,,通過旋轉(zhuǎn)或者連續(xù)變化的工作腔,逐步從系統(tǒng)中抽出氣體,。當(dāng)系統(tǒng)中氣體的壓力下降到一定程度時,,進(jìn)入排氣階段,真空泵開始將系統(tǒng)中的氣體排出,,以此達(dá)到形成真空環(huán)境的目標(biāo),。
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