如何選擇管式爐

1,、根據(jù)實(shí)驗所需的最高溫度選擇合適溫度區(qū)間的加熱爐。

A.選擇工作溫度時請注意儀器所能保持的最高溫度(安全,、連續(xù)使用的溫度)。如：

微元素GYS-1700C            最高加熱溫度1700℃,，連續(xù)工作溫度是1600℃

B,、儀器使用的加熱元件限制了加熱爐的最大工作溫度,目前我公司加熱元件

可分為四類:

①.250~1250℃  Fe-Cr-Al或Ni-Cr-Al合金加熱元件或紅外燈管加熱元件

采用K型熱電偶

如：采用電阻絲加熱,，K型熱電偶測溫,，最高加熱溫度1200°C，長時間使用1100°C,。

②.1300~1500℃碳化硅加熱元件 采用S型熱電偶

③.1600~1800°C MoSi2加熱元件（禁止長時間在800°C以下加熱）

采用B型熱電偶

2,、根據(jù)樣品大小選擇合適的坩堝及再爐管管徑，選擇容積合適的加熱爐,。(不建議不用坩堝載料直接將樣品放入爐管）

A.坩堝選擇

石英坩堝:≤1200°C使用石英管,，熱處理溫度超過600°C時，請不要用氧化鋁坩堝

氧化鋁≤1800°C使用剛玉管,，熱處理溫度超過900°C時,，請不要用莫來石坩堝

石墨坩堝≤2300°C

例如：1、需要對粉末進(jìn)行900°C熱處理,，選擇石英坩堝裝載樣品,。

2、需要將合金在1600°C融化,，選擇氧化鋁坩堝,。

B.管徑的選擇

選擇好坩堝后，根據(jù)坩堝裝載樣品后的體積選擇合適的爐管管徑（一般買爐子會標(biāo)配有加熱爐管）

a. 石英管≤1200°C（真空環(huán)境下最高1000度）

b. 剛玉管≤1800°C（剛玉管不建議真空環(huán)境下使用）

d.800°C≤SS310管:≤1000°C(高壓力/真空爐)

e.900°C≤超耐熱不銹鋼管:≤1000°C(高壓力/真空爐)

總結(jié)：多大的爐管放多大的坩堝及樣品?。,。?/span>

3,、根據(jù)實(shí)驗要求選擇單溫區(qū)管式加熱爐和多溫區(qū)管式加熱爐,，多溫區(qū)較單溫區(qū)會設(shè)有多個熱電偶，n溫區(qū)加熱爐的恒溫區(qū)比(n-1)溫區(qū)的加熱爐恒溫區(qū)要長,，部分儀器尺寸變大,。

管式爐的溫區(qū)作用及如何選擇？

（1） 恒溫區(qū)的作用

恒溫區(qū)一般指加熱爐內(nèi)的某一段區(qū)間內(nèi)各點(diǎn)溫度基本一致,，樣品放置在這一區(qū)間內(nèi),，樣品各處受到的溫度會基本一致。（中心區(qū)域溫差小于+/-1°C）

恒溫區(qū)不同帶來的變化

（2）恒溫區(qū)選擇舉例 選擇合適的恒溫區(qū),，一定要先根據(jù)實(shí)驗樣品的尺寸或?qū)嶒炓蟮氖軣狍w積來選 擇,。恒溫區(qū)的增加或減少可能會改變儀器的尺寸，儀器整體會變長變大,。

（3）恒溫區(qū)選擇舉例

選擇合適的恒溫區(qū),，一定要先根據(jù)實(shí)驗樣品的尺寸或?qū)嶒炓蟮氖軣狍w積來選擇。

A,、 實(shí)驗樣品尺寸大于儀器恒溫區(qū),，需要選擇多溫區(qū)來增加恒溫區(qū)的長度

B,、 根據(jù)實(shí)驗要求需要多個溫度梯度時，這就需要多溫區(qū)來實(shí)現(xiàn)

例如：通過物理沉積方式在基片上生長二維材料,，原料高溫?fù)]發(fā)后,，利用載氣向低溫端移動，一定溫度下在基片上生長,。（相鄰兩個溫區(qū)最大溫差300°C）

注意：加熱爐加熱區(qū)分為總加熱區(qū)長度（加熱源能覆蓋的區(qū)域）和恒溫區(qū)長度,。 恒溫區(qū)總是小于總加熱區(qū)，請選擇一個恒溫爐區(qū)尺寸超過您樣品的加熱爐,。

4,、根據(jù)功能選擇加熱爐:

管式爐為基礎(chǔ)加熱系統(tǒng)，您可以根據(jù)不同的需求選擇成套系統(tǒng),，如CVD,、 PECVD、HPCVD,、ALD,、石墨烯和2維材料生長系統(tǒng)等。

例如：生長石墨烯,，所需要的PECVD系統(tǒng)

整個系統(tǒng)包括加熱爐系統(tǒng),、射頻電源、供氣系統(tǒng),、真空系統(tǒng),、水冷系統(tǒng),、通風(fēng)系統(tǒng),、氫氣報警系統(tǒng)

立式管式爐：加熱管垂直放置，以懸吊樣品的方式,，為樣品提供淬火,。

RTP(快速熱處理加熱爐):可以對樣品進(jìn)行快速加熱和快速冷卻

OYS-1200C-4-RTP

最快50°C/s升溫速度，紅外燈管加熱

OYS-1200C-50-S

加熱爐加熱到某一溫度后,，滑至樣品所在區(qū)域,， 可以提高升溫速度，熱處理結(jié)束,，將爐體移開,， 使樣品所在區(qū)域暴露在空氣中，快速冷卻,。

高壓力/真空爐:特殊設(shè)計的鎳鉻合金和不銹鋼爐管,，對樣品進(jìn)行高溫高壓和真空處理。

旋轉(zhuǎn)管式爐:爐管旋轉(zhuǎn)式結(jié)構(gòu)可以更均勻的熱處理粉末,，同時也可以達(dá)到粉末包覆的效果,。

可傾斜旋轉(zhuǎn)管式爐+浮子供氣系統(tǒng)/質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)+真空泵

特殊氣體處理能力:氫氣處理和高溫腐蝕研究特殊模型是可用的

6,、選擇合適的真空泵

低真空系統(tǒng)

極限真空度：5X10-2 torr——1X10-2Pa

國產(chǎn)高真空系統(tǒng)（分子泵）

極限真空度：本機(jī)組極限真空 5*10-5Pa

進(jìn)口高真空系統(tǒng)（分子泵）

極限真空度：本機(jī)組極限真空 5*10-7Pa

7、選擇有相關(guān)認(rèn)證的管式爐

合肥微元素所有爐子的電子元器件均采用UL認(rèn)證器件,。

合肥微元素保證加熱爐可單臺可通過認(rèn)證（可能會產(chǎn)生部分認(rèn)證費(fèi)用,，具體請咨詢銷售）

8、支持定制,，按客戶要求出具體方案,，報價，技術(shù)協(xié)議,。

9,、具體細(xì)節(jié)可以聯(lián)系我們公司銷售，售后,，技術(shù)協(xié)助解決,。