巴魯夫憑借其在傳感器與自動化領(lǐng)域的深厚積累,，為半導(dǎo)體行業(yè)帶來創(chuàng)新的解決方案,。

BES電感式傳感器

巴魯夫BES電感式傳感器以性能和可靠性,，在半導(dǎo)體生產(chǎn)的各個環(huán)節(jié)中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用,。無論是在載具傳送,、晶圓傳送還是晶圓加工過程中,，都能提供精確的監(jiān)控,，確保生產(chǎn)過程的連續(xù)性和穩(wěn)定性,，并降低維護和存儲成本,。

特別是在閥門監(jiān)控方面，巴魯夫開發(fā)了能夠承受高壓和高溫環(huán)境的電感式傳感器,，非常適合集成到ALD閥門中,。

載具傳送 

檢測AMHS終端位置

巴魯夫為您監(jiān)測載具輸送車的終端位置提供了眾多選擇。根據(jù)您的需求,，我們提供電感式,、電容式或光電式傳感器，讓您能夠確認AMHS位置是否正確,，您的載具是否精確定位在裝載架上,，確保載具傳送過程的穩(wěn)定可靠。

特點   ：1,、非接觸式,，即無磨損

2、具有技術(shù)多樣性，能夠高效應(yīng)對各種需求

晶圓傳送 

檢測末端執(zhí)行器上的晶圓位置

巴魯夫電感式傳感器不僅能讓您確定末端執(zhí)行器上是否存在晶圓,，同時檢測晶圓的確切位置,。這些傳感器具備短路保護功能，允許緊密相鄰安裝,，以實現(xiàn)多點位置檢測,。其緊湊的外形設(shè)計，使得它們能夠輕松地集成到末端執(zhí)行器上,，具有更高的靈活性。   特點   ：1,、可靠的電纜斷裂和短路自診斷

2,、外形規(guī)格多樣，滿足具體應(yīng)用需求

3,、能夠集成到末端執(zhí)行器上

晶圓加工 

可靠地控制流量閥

在晶圓加工環(huán)節(jié),，當進入工藝室的介質(zhì)正常流動是由閥門控制時，閥門的可靠運作至關(guān)重要,。巴魯夫的電感式傳感器以堅固性和緊湊設(shè)計,，能夠無縫集成到閥門系統(tǒng)中，確保閥門操作的精確性和連續(xù)性,，從而保障整個晶圓加工過程的穩(wěn)定性和效率,。

特點  ：1、外形小巧,，易于集成

2,、安裝完成后，傳感器后端的LED可提供可視信息

3,、無需外部放大器

 半導(dǎo)體自動化就選巴魯夫 

巴魯夫提供多樣化的電感式傳感器以滿足不同應(yīng)用和行業(yè)需求,。我們的產(chǎn)品包括標準型、耐高壓型和防磁型等,，采用多種外殼材料和密封技術(shù),，確保適配性。提供多種外殼直徑和螺紋尺寸,，便于集成,，即使在空間受限的場合也能提供高效解決方案。

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,，我們的產(chǎn)品不僅滿足多樣化的工業(yè)需求,，還特別針對半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境進行定制，確保高精度和可靠性,。通過巴魯夫先進的傳感器技術(shù),，助力您的生產(chǎn)流程實現(xiàn)自動化和智能化，提高效率并降低成本，讓您在激烈的市場競爭中取得優(yōu)勢,。