手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關(guān)注視頻號
聚焦離子束掃描電鏡系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)及應(yīng)用
聚焦離子束掃描電鏡（FocusedIonBeamScanningElectronMicroscope,，簡稱FIB-SEM）是一種先進(jìn)的電子顯微鏡系統(tǒng)，結(jié)合了離子束刻蝕和掃描電子顯微鏡成像技術(shù)。它不僅可以進(jìn)行高分辨率的表面成像,，還能在同一平臺上進(jìn)行樣品切割、精確加工和三維重建,，廣泛應(yīng)用于材料科學(xué),、生命科學(xué)和納米技術(shù)等領(lǐng)域。
結(jié)構(gòu)和工作原理
離子束系統(tǒng)：
FIB-SEM的核心部分是離子束系統(tǒng),，通常使用高能量的離子束（通常為鎵離子）,，用于刻蝕樣品表面或進(jìn)行精細(xì)加工。離子束的聚焦能力決定了加工的精度和分辨率,。
掃描電子顯微鏡系統(tǒng)：
離子束和掃描電子顯微鏡（SEM）系統(tǒng)集成在同一平臺上,。SEM負(fù)責(zé)樣品的高分辨率成像，可以獲取表面形貌和微觀結(jié)構(gòu)的詳細(xì)信息,。
樣品臺：
樣品臺是FIB-SEM的重要部件,，支持樣品的旋轉(zhuǎn)和移動(dòng)，以便進(jìn)行不同角度的成像和加工,。樣品臺的穩(wěn)定性和精確控制對于獲取高質(zhì)量的數(shù)據(jù)至關(guān)重要,。
控制系統(tǒng)：
FIB-SEM系統(tǒng)還包括先進(jìn)的計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，用于實(shí)時(shí)監(jiān)控和調(diào)節(jié)離子束和電子束的操作參數(shù),，以及樣品臺的運(yùn)動(dòng),。
應(yīng)用領(lǐng)域
材料科學(xué)：
FIB-SEM可用于材料的微觀結(jié)構(gòu)分析和表面形貌觀察。例如,，觀察材料的斷口形貌,、晶體缺陷分析、界面分析等,。
納米技術(shù)：
在納米器件制造中,，F(xiàn)IB-SEM可以用來進(jìn)行精確的加工和調(diào)控，如制備納米器件,、修復(fù)電路故障等,。
生命科學(xué)：
用于生物樣品的切割和成像，如細(xì)胞的三維結(jié)構(gòu)重建,、組織樣品的微結(jié)構(gòu)分析等,。
電子器件分析：
在電子器件制造和分析中，F(xiàn)IB-SEM可以用來研究器件的工作原理和故障分析,，如芯片級別的分析和修改,。
地質(zhì)與環(huán)境科學(xué)：
用于巖石和礦物樣品的微觀結(jié)構(gòu)分析,，如巖石的成分分析、微觀顆粒的分布和形貌分析等,。
總結(jié)
聚焦離子束掃描電鏡系統(tǒng)通過結(jié)合離子束刻蝕和掃描電子顯微鏡成像技術(shù),，提供了一種強(qiáng)大的分析工具，適用于多種材料和生命科學(xué)領(lǐng)域的高分辨率表面成像,、樣品加工和三維重建,。它的廣泛應(yīng)用使其成為現(xiàn)代科學(xué)研究和工業(yè)生產(chǎn)中需要的儀器之一。
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品,，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品,，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品,。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”,。違反上述聲明者,，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品,，目的在于傳遞更多信息,，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對其真實(shí)性負(fù)責(zé),，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任,。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí),，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源,，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容,、版權(quán)等問題,，請?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利,。
采購中心