在納米顯微測量領域,，中圖儀器基于納米傳動與掃描技術、白光干涉與高精度3D重建技術,、共聚焦測量等技術積累,，推出了具有自主知識產(chǎn)權的白光干涉儀（Z向分辨率可高達0.1納米）和共聚焦顯微鏡，廣泛應用于半導體,、3C電子,、高校科研等行業(yè)領域,。

從納米到宏觀,，產(chǎn)品解決方案全面覆蓋，滿足多樣化需求：

1,、光學3D表面輪廓儀

SuperView W系列光學3D表面輪廓儀利用白光干涉技術,，結合精密Z向掃描模塊和3D建模算法，能夠對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量,。

典型應用：

2,、共聚焦顯微鏡

VT6000系列共聚焦顯微鏡以共聚焦技術為原理、結合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等,，對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量。

典型應用：

3,、臺階儀

CP系列臺階儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC,，集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制,、標定算法等核心技術,，具備超微力調節(jié)的能力和亞埃級的分辨率。

典型應用：

中圖儀器以深厚的技術積累,、創(chuàng)新的產(chǎn)品解決方案和全球化的服務網(wǎng)絡,，為全球客戶提供精準、可靠的測量產(chǎn)品和服務,。未來公司將不斷推動科技創(chuàng)新,，繼續(xù)在精密測量領域發(fā)揮領導作用，助力科技進步和工業(yè)發(fā)展,。