大部分的質(zhì)量流量計,,流量控制器的耐壓程度在3Mpa或10Mpa左右,但是在一些應(yīng)用中需要更高的壓力,,例如一些高壓縮氣體,,高反應(yīng)釜,。。,。經(jīng)過我們多年的經(jīng)驗及開發(fā)測試,,目前,氣體質(zhì)量流量計,、流量控制器可以做到40~60Mpa的高耐壓性能,。具體參數(shù)如下:
量程范圍:2SCCM~100SLM
測控范圍:控制器閥控范圍50:1(流量計量程比100:1)
準(zhǔn)確度: ±0.5%F.S(滿量程)
線性: ±0.25%F.S
重復(fù)精度: ±0.2%F.S
響應(yīng)時間: <0.2s <0.1s
溫度系數(shù): ±0.025%F.S/℃
工作溫度: 0~50℃
預(yù)熱時間: 30S可用,5Min達(dá)到最佳狀態(tài)
工作壓力: 工作壓差:0.1~0.5Mpa(高壓差可定制) 工作壓降:<0.01Mpa
最大耐壓: 20MPa~60Mpa
漏率:1 x 10 Pa m3/S
底座材質(zhì):不銹鋼
接頭: φ8,,φ10,,φ12,卡套或法蘭安裝
密封材質(zhì): 氟橡膠,,氯丁橡膠,,丁腈橡膠,,金屬密封
外殼防護(hù)等級: IP40
安裝位置: 水平安裝
電氣連接: DB9孔, RJ11, 5.5×2.1電源快插
顯示狀態(tài): 帶液晶顯示、不帶液晶顯示
數(shù)字量: RS232/485,,MODBUS協(xié)議,,PROFIBUS協(xié)議
模擬量: 0~5V、4-20mA,、1~5V
供電: 24VDC,、±15VDC
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