什么是低溫壓電掃描臺(tái),？

來源：多場(chǎng)低溫科技（北京）有限公司 2024年06月27日 18:57

　　低溫壓電掃描臺(tái)是一種高精度,、高穩(wěn)定性的精密定位設(shè)備,，是一種利用壓電材料的逆壓電效應(yīng),，在低溫環(huán)境下進(jìn)行精密定位與掃描的設(shè)備,。它能夠在低溫,、真空及磁場(chǎng)等*端條件下提供納米級(jí)的高精度定位和運(yùn)動(dòng)控制，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體加工,、檢測(cè),、高精密測(cè)試和操作以及其他真空無磁要求的納米運(yùn)動(dòng)控制等領(lǐng)域。

　　本公司提供的低溫壓電掃描臺(tái)Scanner16-xy的參數(shù)：

　　1,、緊湊的設(shè)計(jì),，外形尺寸：16 * 16 * 7 mm

　　2、超高真空 & 極低溫兼容：2 E-11 mbar & 30 mK

　　3,、無磁材料純Ti & BeCu組成,，兼容 35 Tesla磁場(chǎng)

　　4、高負(fù)載：100 g

　　5,、行程@300 K：30*30 um

　　6,、空間掃描達(dá)到 0.8 nm 分辨率

　　低溫壓電掃描臺(tái)在半導(dǎo)體加工、檢測(cè),、高精密測(cè)試和操作等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,。例如，在半導(dǎo)體加工中,，它可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的精確切割和定位,；在半導(dǎo)體檢測(cè)中，它可以提供高精度的掃描和測(cè)量,；在高精密測(cè)試和操作中,，它可以實(shí)現(xiàn)微小尺度的精密操控。

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