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可測(cè)量殘留氣體成分的真空計(jì)SC-10的特點(diǎn)
可測(cè)量殘留氣體成分的真空計(jì)SC-10的特點(diǎn)
?通過(guò)監(jiān)測(cè)殘留氣體成分,，可以監(jiān)控真空設(shè)備的健康狀況并立即發(fā)現(xiàn)異常情況,。
?用一臺(tái)裝置即可測(cè)量真空度（總壓）和氣體成分（分壓）。
SC-10智能真空計(jì)是我公司研發(fā)的一款全新的自動(dòng)真空計(jì),，既可以測(cè)量殘余氣體成分，也可以測(cè)量全壓真空,。
總壓真空范圍從大氣壓到10-7Pa的超高真空,，當(dāng)總壓達(dá)到約50Pa時(shí)，氣體成分的分壓自動(dòng)開(kāi)始,，從而可以測(cè)量約10-5Pa到10-6Pa,。 ,。
可以在粗略壓力范圍內(nèi)測(cè)量氣體成分并檢查是否有泄漏，而這對(duì)于傳統(tǒng)氣體分析儀來(lái)說(shuō)是不可能的,。
智能真空計(jì)可以測(cè)量殘留氣體的成分,，因此即使在抽氣過(guò)程中，您也可以快速檢查真空設(shè)備的健康狀況,，例如泄漏和水蒸氣脫氣,。下面的兩張圖顯示了同一裝置的不同排氣數(shù)據(jù)，在圖1中,，顯示了正常排氣,，水蒸氣是主要成分并決定了總壓力真空，而在圖2中,，氮?dú)庥捎谛孤┒Ｖ?。向下排氣開(kāi)始后約5分鐘，如果繼續(xù)排氣約10分鐘,，則氮?dú)獾牧孔兊枚嘤谒魵?，并且總壓和真空度的降低停止。通過(guò)使用智能真空計(jì),，您可以快速發(fā)現(xiàn)僅通過(guò)監(jiān)測(cè)總壓力和真空度無(wú)法檢測(cè)到的排氣異常及其原因,。
圖1
圖2
智能真空計(jì)不僅可以讓您知道是否存在泄漏，還可以噴射氦氣或氬氣來(lái)定位泄漏位置,。圖3顯示了在泄漏位置噴射氬氣時(shí)智能真空計(jì)的數(shù)據(jù),，氬氣增加而氮?dú)鉁p少表明存在泄漏。泄漏停止后,，如圖4所示,，氮?dú)夂脱鯕鉁p少，水蒸氣成為主要成分,，成為典型真空裝置的殘余氣體成分,。
圖3
圖4
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