能研8745 - 氣體流量控制器的使用說明

來源：上海韜世實業(yè)發(fā)展有限公司 2024年05月22日 12:15

以下是一份氣體質(zhì)量流量控制器的一般使用說明：

一、安裝

1. 選擇合適的安裝位置,，確保環(huán)境溫度、濕度等符合設備要求。

2. 按照設備手冊正確連接氣體入口和出口管路,，注意密封良好。

二,、預熱

在使用或長時間未使用后,，需進行適當時間的預熱，以確保測量準確性,。

三,、設置與操作

1. 通過控制面板或配套軟件設置所需的流量值。

2. 可根據(jù)需要選擇不同的單位（如 SCCM,、SLPM 等）,。

3. 確認設定的氣體類型與實際使用的氣體相符。

四,、運行與監(jiān)測

1. 開啟氣體供應,，觀察流量顯示是否穩(wěn)定在設定值附近。

2. 定期檢查顯示數(shù)值與實際需求是否一致,。

五,、維護與保養(yǎng)

1. 定期清潔設備表面，防止灰塵等雜質(zhì)影響性能,。

2. 按照規(guī)定的時間間隔進行校準,，以保證測量精度,。

3. 如發(fā)現(xiàn)故障或異常，應及時停止使用并聯(lián)系專業(yè)人員維修,。

六,、注意事項

1. 嚴格按照設備規(guī)定的壓力、溫度范圍操作,。

2. 避免強烈震動和沖擊,。

3. 對不同氣體可能需要特定的使用要求，務必遵循相關規(guī)定,。

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