Bruker 納米壓痕儀： Hysitron PI 89 掃描電鏡聯(lián)用納米壓痕儀利用掃描電子顯微鏡（SEM、FIB/SEM）的成像能力,，可以在成像的同時進(jìn)行定量納米力學(xué)測試,。這套新系統(tǒng)搭載 Bruker 的電容傳感技術(shù)，繼承了商業(yè)化原位 SEM 納米力學(xué)平臺的優(yōu)良功能,。該系統(tǒng)可實現(xiàn)包括納米壓痕,、拉伸、微柱壓縮、微球壓縮,、懸臂彎曲,、斷裂、疲勞,、動態(tài)測試和力學(xué)性能成像等功能,。

特點(diǎn)

可互換傳感技術(shù)，實現(xiàn)了更大范圍(10mNx500 mN,、3.5N和150μ.m)的原位納米力學(xué)測試和微尺度力學(xué)測試

載荷和位移控制測試模式,可進(jìn)行納米壓痕,、壓縮、 拉伸,、疲勞或彎曲測試

采用新編碼樣品臺技術(shù)(1 nm分辨率),，可以在納米晶粒 內(nèi)部進(jìn)行壓痕操作

提供旋轉(zhuǎn)/傾斜臺兩種配置，從而在進(jìn)行納米力學(xué)測試,、二次電子成像,、原位FIB加工和分析成像等操作時，樣品定位能力進(jìn)一步提高

采用不過時的模塊化設(shè)計,原位測試相關(guān)技術(shù)得以不斷升級,，包括800℃加熱,、劃痕測試、電特性,、掃描探針顯微鏡 (SPM)成像,、力學(xué)性能成像(XPM)及動態(tài)疲勞測試等技術(shù)

配備PerformechII先進(jìn)控制模塊，反饋頻率達(dá)到78 kHz, 數(shù)據(jù)采集頻率達(dá)到39 kHz,可以捕捉斷裂引發(fā)等瞬時事件

功能齊全

Hysitron PI 89可以輕松安裝到掃描電子顯微鏡臺上,不需 要一直固定在顯微鏡上,。其設(shè)計小巧，大幅增加物臺傾斜 度,、縮短工作距離,確保測試期間實現(xiàn)佳成像,。

PI89平臺經(jīng)過改裝，在系統(tǒng)的樣品位置增加了一個滑移臺,。該設(shè)計可方便快速地調(diào)整樣品相對于傳感器的位置,并可配置可更換壓頭,、樣品和其它附加裝置。

同時擴(kuò)大了可用空間,，可以容納更大的樣品,、附加樣品臺和新的配件。

此外,選用新的直線編碼樣品臺,可以提高自動運(yùn)動中的 重復(fù)性,，同時擴(kuò)大行程范圍,。通過重新設(shè)計機(jī)械載荷架軸，提升了框架剛度,。