電子行業(yè)廠房無塵車間環(huán)境技術(shù)要求——潔凈度懸浮粒子檢測方法 加野KANOMAX
電子行業(yè)是一個多元化的行業(yè),包含新能源鋰電、光伏,、電路板,、半導(dǎo)體,、電子材料,、電子產(chǎn)品等眾多領(lǐng)域,。近十多年來科學(xué)技術(shù)日新月異,,對于新產(chǎn)品的高精密度化,、細(xì)小型化之需求更為迫切,同時對無塵凈化技術(shù)的設(shè)計和發(fā)展提出了更高的要求,。
由于電子產(chǎn)品在制造,、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格,潔凈生產(chǎn)車間環(huán)境監(jiān)測指標(biāo)應(yīng)包括溫度(℃),、濕度(%RH),、懸浮粒子、風(fēng)速、壓差,、噪聲,、照度、靜電,、氣態(tài)分子污染物等,。
其中采用塵埃粒子計數(shù)器檢測受控環(huán)境中懸浮粒子數(shù)量來驗證潔凈度等級是最關(guān)鍵的。粒子數(shù)量超出潔凈度等級所允許的限值時,,將造成受控環(huán)境的異常,,導(dǎo)致潔凈度等級降低,嚴(yán)重影響產(chǎn)品質(zhì)量,。
懸浮粒子測試方法:
1,、室內(nèi)測試人員必須穿潔凈服,不得超過2人,,應(yīng)位于測試點下風(fēng)側(cè)并遠(yuǎn)離測試點,,并應(yīng)保持靜止。進行換點操作時動作要輕,,應(yīng)減少人員對室內(nèi)潔凈度的干擾,。
2、檢測前和檢測后設(shè)備按照標(biāo)準(zhǔn)要求進行“清零”自凈,。
3,、在單向流區(qū)域,所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動力采樣,,進入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過20%,。若無法做到這一點,將采樣口正對氣流的主方向,。非單向流的采樣點,,采樣口應(yīng)豎直向上。
4,、采樣口至粒子計數(shù)器的連接管應(yīng)盡量短,。
5、采樣點一般離地面0.8-1.5m左右,,要均勻科學(xué)布點,,而且要避開回風(fēng)口。對任何小潔凈室或局部空氣凈化區(qū)域,,采樣點的數(shù)目都不得少于2個,,按照法規(guī)標(biāo)準(zhǔn)ISO14644及GB16292等內(nèi)容中執(zhí)行,最少采樣點數(shù)目對應(yīng)懸浮粒子采樣點數(shù),,關(guān)鍵設(shè)備或關(guān)鍵工作活動范圍處可增加測點,。
6,、按照ISO14644法規(guī)、GB25915法規(guī),、GB16292法規(guī)標(biāo)準(zhǔn)等內(nèi)容進行測試,,用戶根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)的測試方法進行采樣點數(shù)量,、采樣次數(shù),、每個點采樣量(即計算采樣時間)確認(rèn)好相關(guān)要求,即可逐步進行粒子潔凈度的監(jiān)測,,測試結(jié)果對照法規(guī)等級表進行確認(rèn)是否合格,。
粒子計數(shù)器引用標(biāo)準(zhǔn)如下:
《國際標(biāo)準(zhǔn)潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境》 ISO 14644-1:2015
《醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)》 GB 50457
《食品工業(yè)潔凈用房建筑技術(shù)規(guī)范》 GB50687
《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》 GB 50073
《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》 GB 50472
《醫(yī)藥工業(yè)懸浮懸浮粒子測試方法》 GB/T16292
《潔凈室施工及驗收規(guī)范》 GB 50591
《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境》 GB 25915
國家標(biāo)準(zhǔn)潔凈廠房潔凈設(shè)計規(guī)范與國際標(biāo)準(zhǔn) ISO 數(shù)據(jù)對照
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