1.液環(huán)泵

雖然液環(huán)泵屬于粗真空泵,，但在中國的石油、化工,、電力,、輕紡、造紙,、醫(yī)藥等領域仍然有著很大的市場,。在國外，液環(huán)泵的銷售額占全部真空泵市場的14%,，僅次于干泵,，所以Nash、Seimems和Kinney等公司都在中國投資建廠或建立銷售網絡,，不斷擴大在中國的*,。由于液環(huán)泵大部分是鑄件，加工要求也不高,，屬勞動密集型產品,，所以國產液環(huán)泵在價格上有競爭優(yōu)勢，關鍵是要改進設計,，縮小體積,，減輕重量，提率，降低能耗,。

2.滑閥泵

由于滑閥泵比較耐用,、可靠，國內外各種真空爐,、鍍膜機以及干燥,、浸漬等設備都是用滑閥泵作為前級泵，但是滑閥泵鑄件重,，加工工作量較大,，所以國外各真空廠都在中國尋找合作伙伴。為了使國產滑閥泵能夠進入市場,，必須進一步降低泵的振動噪聲,，杜絕噴油和漏油，提高滑閥泵長期運行的可靠性,。

3.直聯(lián)旋片泵

隨著真空技術在各個應用領域的不斷擴大,，直聯(lián)旋片泵的需求量越來越大。由于這種泵數量很多,，加工裝配工作量很大,，價格又很低，所以有的國外真空廠商在中國建立專業(yè)廠,。國產中小型直聯(lián)旋片泵在技術上已經過關,，價格又遠比國外的泵便宜，所以國產泵仍然有競爭優(yōu)勢,，關鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質量問題,，確保直聯(lián)泵在高速、高溫下性能穩(wěn)定和運行可靠,，同時還要進一步提高國產直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的能力,。

4.羅茨泵

從國外羅茨泵生產情況來看，國外幾家大公司,，如Leybold,、Balzers、Alcal,、Edwards和ULVAC,，他們各家羅茨泵的銷售額占羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%，這5家總計才20%,，羅茨泵產量不大,，但國外羅茨泵的價格遠比國產泵要高得多。目前,，國內外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng)，為了縮短抽氣時間,、提高生產效率都配有羅茨泵,，所以國產羅茨泵一定要在占領國內市場基礎上設法進入市場,，這樣就必須進一步降低國產羅茨泵的振動噪聲，*解決軸封漏油問題,，改進泵的外觀質量,，提高泵內的光潔度和清潔度。另外,，還要考慮到有些國家和地區(qū)的電源頻率為60Hz,，更要確保羅茨泵在提高轉速的情況下長期運行的可靠性。

目前,，國內氣冷式直排大氣羅茨泵進展很快,，技術上已經成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器,，其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉子,，從而使壓縮熱得到平衡，所以這種泵可以直排大氣,。為了滿足不同極限真空度的要求,，這種泵可以串聯(lián)使用，一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵,，所達到的極限真空要比前級泵高一個數量級,。這種泵由于在泵腔內沒有工作介質，實際上也是屬于干泵,。目前,，這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經在石油、化工,、塑料,、農藥、汽輪機轉子動平衡,、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗,，所以應該在國內大力推廣和應用。

5.分子泵

分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,，尤其是濺射,、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。

由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長,。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板,，稱之為低溫分子泵,，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應用,，既提高了生產效率又改善了膜層質量,。隨著中國半導體工業(yè)、薄膜產業(yè)和科學研究事業(yè)迅速發(fā)展,，分子泵應該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點,。首先，分子泵要從小到大建立完整系列,，并研究開發(fā)各種復合分子泵,、牽引泵和低溫分子泵，以滿足不同場合的需要,。

6.干泵

國外干泵市場的不斷增長,，其主要驅動來自于半導體行業(yè)、化學工業(yè),、薄膜產業(yè)的迅速發(fā)展,。在日本，半導體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵,，歐美半導體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵,，大大提高了產品的性能和質量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求,，國外有多級羅茨真空泵,、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵,、渦旋式真空泵,、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa,，抽速從20m3／h～500m3／h,。據統(tǒng)計，目前國產干泵的應用還不足1%,，國內半導體工業(yè)用的干泵全部從國外進口,，其價格十分昂貴。所以,，中國應大力研究開發(fā)干泵,，使干泵成為中國真空工業(yè)新的經濟增長點。