如何測量電阻率體積電阻率

來源：深圳市京都玉崎電子有限公司 2024年04月11日 17:20

體積電阻率和表面電阻率

使用該電阻率校正系數(shù),，可以使用[公式3.5.1]和[公式3.5.2]計算體積電阻率和表面電阻率,。

體積電阻率（單位：Ω·cm）是單位體積的電阻,，根據(jù)領(lǐng)域的不同,，表達方式也不同,，

例如材料領(lǐng)域的體積電阻率,、電子領(lǐng)域的比電阻,、物理領(lǐng)域的電阻率等,。

特定于（科學(xué)年表中列出）的物理量，用作許多材料電導(dǎo)率的絕對量度,。

另一方面,，表面電阻率（單位：Ω/□、Ω/sq.,，發(fā)音為歐姆每平方）是單位面積的電阻,，

也稱為方塊電阻或簡稱為表面電阻，用于涂層,、薄膜等,。它用于領(lǐng)域應(yīng)特別注意表面電阻，

因為它可能與使用[公式3.5.2]轉(zhuǎn)換之前的電阻相混淆,。

使用四點探針法的電阻率測量長期以來一直用于測量硅片,，對于無限大（和無限薄）的樣品已確定值為 4.532,。

我們針對矩形和圓形樣品確定了任意尺寸和測量位置的校正系數(shù),，并進行了實驗驗證。

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