手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號(hào)：chem17
掃碼關(guān)注視頻號(hào)
應(yīng)用案例 | EBSD樣品的制備方法之機(jī)械拋光+離子束拋光
EBSD即電子背散射衍射技術(shù),，是材料進(jìn)行基本的取向測(cè)定和相結(jié)構(gòu)鑒定的有效方法。其樣品制備的基本要求是：測(cè)試面要保持“新鮮”,、平整，無(wú)任何應(yīng)力（如彈,、塑性應(yīng)力）,，無(wú)任何污染，具有良好的導(dǎo)電性,。
本文中的樣品是厚度約為塊狀紫銅材料,，需要對(duì)其進(jìn)行EBSD分析前的制備。在能滿足樣品制備的基本要求的基礎(chǔ)上,，采用了較清潔,、高效的方法：機(jī)械拋光+離子束拋光。
01
鑲嵌
為使后續(xù)能夠半自動(dòng)研磨拋光,，將樣品鑲嵌至合適的尺寸,。因?yàn)镋BSD技術(shù)要求樣品導(dǎo)電，可選用導(dǎo)電樹(shù)脂進(jìn)行鑲嵌,。鑲嵌尺寸控制D38 x H12mm內(nèi),，便于后續(xù)的離子束拋光。
02
研磨拋光
鑲嵌后的樣品,，將進(jìn)行機(jī)械研磨與拋光,，步驟如下表：
表1.研磨拋光耗材與參數(shù)
備注：紫銅較軟，細(xì)微劃痕難去,，可在第5步拋光后做適當(dāng)腐蝕后,，再重復(fù)第5步，可去除大部分細(xì)劃痕,。
機(jī)械拋光后,，效果如下光鏡圖：
圖1. 機(jī)械拋光后的“新鮮” 、平整表面
03
離子束拋光
機(jī)械拋光后的樣品表面,，仍不可避免地存在一些應(yīng)力損傷,，需要通過(guò)適當(dāng)?shù)娜?yīng)力處理后才能進(jìn)行EBSD分析。
在此案例中選擇使用離子束拋光的方式,，該方式是通過(guò)帶著一定能量的氬離子將樣品表面的損傷層,，以原子形式一顆顆地轟擊掉，最終獲得無(wú)損傷且無(wú)污染的表面,。
拋光參數(shù)如下：
表2.離子拋光參數(shù)
離子拋光后,，形貌如下電鏡圖：
圖2. 機(jī)械拋光+離子束拋光后無(wú)損無(wú)污染的“新鮮” ,、平整表面
圖3. 機(jī)械拋光+離子束拋光后的IPF圖
* 表1、表2中參數(shù)僅供參考,，具體依材料而定,。
本次試驗(yàn)所用設(shè)備如下
appliance
Buehler SimpliMet4000熱鑲機(jī)
Buehler EcoMet30磨拋機(jī)
Leica EM TIC3X三離子束切割儀
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來(lái)源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品,，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載,、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用,，并注明“來(lái)源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者,，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任,。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來(lái)源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息,，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé),，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體,、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí),，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來(lái)源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任,。
- 如涉及作品內(nèi)容,、版權(quán)等問(wèn)題，請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利,。
采購(gòu)中心