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硅烷即硅與氫的化合物,，是一系列化合物的總稱，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和硅氫化合物,。目前應(yīng)用多的是甲硅烷，一般把甲硅烷簡(jiǎn)稱做硅烷,。硅烷作為一種提供硅組分的氣體源,，可用于制造高純度多晶硅、單晶硅,、微晶硅,、非晶硅、氮化硅,、氧化硅,、異質(zhì)硅、各種金屬硅化物,。因其高純度和能實(shí)現(xiàn)精細(xì)控制,，已成為許多其他硅源無(wú)法取代的重要特種氣體。硅烷廣泛應(yīng)用于微電子,、光電子工業(yè),，用于制造太陽(yáng)電池、平板顯示器,、玻璃和鋼鐵鍍層,。硅烷的高科技應(yīng)用還在不斷出現(xiàn), 包括用于制造陶瓷、復(fù)合材料,、功能材料,、生物材料,、高能材料等等，成為許多新技術(shù),、新材料,、新器件的基礎(chǔ)。硅烷又以它的自燃,、爆炸性而著稱,。硅烷有非常寬的自發(fā)著火范圍和的燃燒能量，決定了它是一種高危險(xiǎn)性的氣體,。
硅烷氣體泄漏檢測(cè)主要特點(diǎn)：
速核系統(tǒng)：采用高精度32位高速微處理器,，Epsion數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)，速測(cè)危害氣體,，高效預(yù)警毒氣泄漏,。
多級(jí)標(biāo)定：業(yè)內(nèi)智能化多級(jí)校準(zhǔn)技術(shù)，多重濾波技術(shù),，更精準(zhǔn)更快速地反饋現(xiàn)場(chǎng)濃度值,。
自動(dòng)標(biāo)定：通入實(shí)際標(biāo)氣，無(wú)需標(biāo)定員操作,，智能識(shí)別標(biāo)定,。
穩(wěn)定性：經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的進(jìn)料篩選工序，及行業(yè)經(jīng)驗(yàn)十幾年的研發(fā)人員匠心打造,，抗EMC,、EMI干擾，大幅度提高偵察兵的可靠性,。
多結(jié)構(gòu)的通訊方式：支持4-20mA與RS485單路或多路同時(shí)通訊,，有線與內(nèi)置無(wú)線433M/GPRS等無(wú)線多路通訊（選配）。
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