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SONIX超聲顯微鏡被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體以及集成電路的制造和封裝測(cè)試行業(yè),，是一種理想的無損檢測(cè)儀器,，能夠有效地檢測(cè)器件或材料內(nèi)部的開裂,、氣泡、雜質(zhì),、斷層等缺陷,。
通過壓電陶瓷將電信號(hào)轉(zhuǎn)換成超聲波(>20KHz)，用超聲波對(duì)樣品內(nèi)部進(jìn)行高精度地掃描,，根據(jù)超聲波在不同密度材料中的傳播速度和反射系數(shù)的差異，獲得樣品內(nèi)部不同區(qū)域的超聲波透射或反射,，再經(jīng)由軟件算法處理和成像,。SAM的核心構(gòu)成為，電氣部件,、機(jī)械裝置,、聲學(xué)部件、軟件系統(tǒng),。
超聲掃描顯微鏡（C-SAM或SAT）的工作原理主要基于超聲波的透射,、反射和折射性質(zhì)。它通過使用超聲波換能器產(chǎn)生高頻率的超聲波,，這些超聲波通過耦合介質(zhì)（如去離子水,、酒精或硅油）到達(dá)樣品。超聲波的傳遞要求介質(zhì)是連續(xù)的,，因此任何不連續(xù)的界面,，如氣孔、雜質(zhì),、分層或裂紋,，都會(huì)影響超聲信號(hào)的傳播，導(dǎo)致信號(hào)發(fā)生反射或折射,。
當(dāng)超聲波通過樣品時(shí),，由于聲阻的不同，在有缺陷或粘結(jié)不良的界面上會(huì)出現(xiàn)反射波,。這些反射波被超聲換能器接收并轉(zhuǎn)換成電信號(hào),，然后通過示波器顯示，形成樣品不同界面的反射時(shí)間與距離的關(guān)系,。通過控制時(shí)間窗口的時(shí)間,，可以采集特定界面的回波，從而排除其他回波,，形成一幅超聲圖像,。
這種成像方式使得超聲掃描顯微鏡能夠檢測(cè)材料內(nèi)部的雜質(zhì)顆粒、夾雜物,、沉淀物,、內(nèi)部裂紋,、分層缺陷、空洞,、氣泡和空隙等,。超聲波對(duì)材料內(nèi)部缺陷具有天生的敏感性，因此在缺陷的定性定量方面具有優(yōu)勢(shì),。然而,，需要注意的是，這種檢測(cè)方法可能對(duì)液體敏感,，可能會(huì)給樣品帶來?yè)p害,，且難以檢測(cè)出表面很粗糙或內(nèi)部有很多氣泡的樣品。此外,，樣品不能太厚,，因?yàn)檫@會(huì)影響最大掃描面積和檢測(cè)效果。
產(chǎn)品特點(diǎn)
SONIXEcho-LS能檢測(cè)到小至0.05um的缺陷,，而且對(duì)于bump,、疊die(3D封裝)、倒裝芯片及各種傳統(tǒng)的塑料封裝等具有的檢測(cè)性能,。提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)量,，使用ECHO的設(shè)備和軟件容易的設(shè)置和使用。
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