1,、單酸堿:硫酸,、氨水,、雙氧水,、磷酸,、硝酸,、鹽酸、冰醋酸,、氫氧化鉀,、氫氧化鈉等。
2、作用:電子級強酸強堿多應(yīng)用于半導(dǎo)體制造過程中對零部件的腐蝕和清洗,,表面處理中,。
3、SEMI等級標(biāo)準(zhǔn):電子化學(xué)品的判定通常采用電子化學(xué)品SEMI國際標(biāo)準(zhǔn)等級表
電子化學(xué)品SEMI國際標(biāo)準(zhǔn)等級表
SEMI等級 | IC線寬 | 金屬雜質(zhì) | 控制粒徑 | 顆粒(個/mL) |
C1 | >1.2 | ≤1000(1ppm) | ≤1.0 | ≤25 |
C7 | 0.8~1.2 | ≤10(10ppb) | ≤0.5 | ≤25 |
C8 | 0.2~0.6 | ≤1.0(1ppb) | ≤0.5 | ≤3 |
C12 | 0.09~0.2 | ≤0.1(0.1ppb) | ≤0.2 |
4,、判定儀器和液樣:
使用儀器:PMT-2 液體顆粒計數(shù)器,,防腐型,,檢測范圍0.1-1.0um,,檢測粒徑0.1,、0.2,、0.5,、1.0um。
液樣:硫酸,、氫氧化鈉
5、檢測結(jié)論:
看檢測結(jié)果里的積分值,,看≥0.1的粒子數(shù)量,,≥0.2的粒子數(shù)量,,≥0.5的粒子數(shù)量,。參照數(shù)量的個數(shù)來判定所測樣品達到那個級別的,。
應(yīng)用:化學(xué)品生產(chǎn)商一般在實驗室使用離線取樣檢測的方式,。抽取產(chǎn)線上數(shù)個液樣,,按照批次來進行檢測。反應(yīng)所生產(chǎn)液樣的工藝是否達標(biāo),。
6,、注意事項:
確保儀器的準(zhǔn)確性:在使用前應(yīng)對儀器進行校準(zhǔn),,以確保檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性,。
避免交叉污染:清洗容器,,避免容器壁上的顆粒進入檢測液樣,;在百級清潔環(huán)境里進行檢測,,避免空氣中的大顆粒進入檢測液樣,。
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