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液體顆粒計數(shù)器檢測電子級強酸強堿

來源:陜西普洛帝測控技術(shù)有限公司   2024年03月28日 16:33  

1,、單酸堿:硫酸,、氨水,、雙氧水,、磷酸,、硝酸,、鹽酸、冰醋酸,、氫氧化鉀,、氫氧化鈉等。

2、作用:電子級強酸強堿多應(yīng)用于半導(dǎo)體制造過程中對零部件的腐蝕和清洗,,表面處理中,。

3、SEMI等級標(biāo)準(zhǔn):電子化學(xué)品的判定通常采用電子化學(xué)品SEMI國際標(biāo)準(zhǔn)等級表

                    電子化學(xué)品SEMI國際標(biāo)準(zhǔn)等級表

SEMI等級

IC線寬

金屬雜質(zhì)

控制粒徑

顆粒(個/mL)

C1

1.2

≤1000(1ppm)

≤1.0

≤25

C7

0.8~1.2

≤10(10ppb)

≤0.5

≤25

C8

0.2~0.6

≤1.0(1ppb)

≤0.5

≤3

C12

0.09~0.2

≤0.1(0.1ppb)

≤0.2



4,、判定儀器和液樣:

使用儀器:PMT-2 液體顆粒計數(shù)器,,防腐型,,檢測范圍0.1-1.0um,,檢測粒徑0.1,、0.2,、0.5,、1.0um。

液樣:硫酸,、氫氧化鈉

5、檢測結(jié)論:

看檢測結(jié)果里的積分值,,看≥0.1的粒子數(shù)量,,≥0.2的粒子數(shù)量,,≥0.5的粒子數(shù)量,。參照數(shù)量的個數(shù)來判定所測樣品達到那個級別的,。

應(yīng)用:化學(xué)品生產(chǎn)商一般在實驗室使用離線取樣檢測的方式,。抽取產(chǎn)線上數(shù)個液樣,,按照批次來進行檢測。反應(yīng)所生產(chǎn)液樣的工藝是否達標(biāo),。

6,、注意事項:

確保儀器的準(zhǔn)確性:在使用前應(yīng)對儀器進行校準(zhǔn),,以確保檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性,。
避免交叉污染:清洗容器,,避免容器壁上的顆粒進入檢測液樣,;在百級清潔環(huán)境里進行檢測,,避免空氣中的大顆粒進入檢測液樣,。


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