高精度納米級(jí)壓電位移平臺(tái)“PIEZOCONCEPT”,！
--半導(dǎo)體界后摩爾時(shí)代的手術(shù)刀,。

第三代半導(dǎo)體是后摩爾時(shí)代實(shí)現(xiàn)芯片性能突破的核心技術(shù)之一,，*性能和廣泛的下游應(yīng)用使相關(guān)廠商存在良好發(fā)展前景,。隨著下游終端需求改善，下游結(jié)構(gòu)升級(jí)及國產(chǎn)替代是半導(dǎo)體界發(fā)展的趨勢,。然而運(yùn)動(dòng)控制核心部件對(duì)于眾多產(chǎn)業(yè)布局,，往往起到了關(guān)鍵性作用；高精度納米級(jí)壓電位移平臺(tái),，仍然是眾多企業(yè)亟不可待的關(guān)鍵產(chǎn)品,。

昊量光電推出“PIEZOCONCEPT”公司高精度納米級(jí)壓電位移平臺(tái)系列產(chǎn)品，它的產(chǎn)品猶如一把手術(shù)刀,，具備精確,、鋒利、專業(yè),、值得信任的特點(diǎn),；它代表著高精度、高穩(wěn)定性,、高響應(yīng)速度,、高抗疲勞性。

下面對(duì)“PIEZOCONCEPT”產(chǎn)品進(jìn)行詳細(xì)的介紹：

1.PIEZOCONCEPT單軸位移平臺(tái)

PIEZOCONCEPT單軸位移平臺(tái)產(chǎn)品是可以在單個(gè)維度上提供精確定位的產(chǎn)品,，主要包含X軸壓電平臺(tái),、Z軸壓電平臺(tái)、物鏡掃描臺(tái),、快速反射鏡,。

X軸產(chǎn)品圖片

Z軸產(chǎn)品圖片

一維掃描平臺(tái)

一維快反鏡

2.PIEZOCONCEPT兩軸位移平臺(tái)

兩軸壓電平臺(tái)可以提供兩個(gè)維度上的平移或偏轉(zhuǎn)，主要包括XY二維壓電納米位移臺(tái)和二維快反鏡,。

XY軸壓電平臺(tái)

二維快反鏡

3.PIEZOCONCEPT三軸位移平臺(tái)

XYZ軸壓電平臺(tái)

4. PIEZOCONCEPT位移臺(tái) du特優(yōu)勢

昊量光電推出“PIEZOCONCEPT”高精度單軸,、雙軸、三軸納米級(jí)壓電位移臺(tái),、物鏡掃描臺(tái),、快反鏡系列產(chǎn)品；該壓電平臺(tái)以壓電陶瓷為驅(qū)動(dòng),，采用了柔性鉸鏈連接的方法,，具備精確導(dǎo)向性、高穩(wěn)定性,、高抗疲勞性的特點(diǎn),，同時(shí)搭配高精度硅基位移傳感器、16Bit高分辨率高速控制器，具有高響應(yīng)速度,，亞納米級(jí)的分辨率,，超低底噪（10-50pm）和超高線性度（0.02%），廣泛應(yīng)用于高精密位移領(lǐng)域,，包括但不局限于半導(dǎo)體領(lǐng)域,。

功能的du特優(yōu)勢包括：

亞微米級(jí)別的重復(fù)定位精度

穩(wěn)定性遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于同類產(chǎn)品

0-1500微米級(jí)的移動(dòng)范圍

5.PIEZOCONCEPT使用什么類型的傳感器,？為什么它優(yōu)于其他傳感器技術(shù),？

PIEZOCONCEPT使用單晶硅傳感器，稱為硅基位移傳感器,。盡管它是應(yīng)變傳感器大家族的一部分,，但它優(yōu)于其他兩種常用傳感器（電容式傳感器和金屬應(yīng)變傳感器）。這兩種傳感器與PIEZOCONCEPT單晶硅傳感器相比都有明顯的缺點(diǎn),。

電容式傳感器與PIEZOCONCEPT硅基位移傳感器相比,，對(duì)以下方面很敏感：

•氣壓變化：空氣的介電常數(shù)取決于氣壓。測量將受到任何壓力變化的影響,。

•溫度變化：空氣的介電常數(shù)也會(huì)隨溫度變化,。

•污染物的存在。

以上所有這些都會(huì)導(dǎo)致納米級(jí)的一些不穩(wěn)定性,，即使可以對(duì)空氣壓力和溫度進(jìn)行校正,，也不可能校正其它因素（污染物、排氣）的影響,。這解釋了電容式傳感器在真空環(huán)境中性能不佳的原因,。此外，電容傳感器非常昂貴和笨重,。硅HR傳感器技術(shù)是一種固態(tài)技術(shù),，它的電阻不依賴于空氣壓力或污染物的存在。其次,，雖然溫度變化對(duì)測量有影響（主要是因?yàn)椴牧系臒崤蛎洠?，但這可以通過使用傳感器陣列進(jìn)行校正?；旧?，PIEZOCONCEPT在每個(gè)軸上使用兩個(gè)平行的硅傳感器，一個(gè)用于測量,，另一個(gè)用于考慮溫度變化引起的材料膨脹,。

6.金屬應(yīng)變傳感器與PIEZOCONCEPT硅基位移傳感器的比較。

金屬應(yīng)變傳感器和PIEZOCONCEPT硅基位移傳感器之間的差異更大。

第1個(gè)區(qū)別是應(yīng)變系數(shù)：半導(dǎo)體應(yīng)變傳感器（硅基位移傳感器）的應(yīng)變系數(shù)大約是金屬應(yīng)變傳感器的100倍,。更高的應(yīng)變系數(shù)導(dǎo)致更高的信噪比,，zui終導(dǎo)致更高穩(wěn)定性。

第2個(gè)區(qū)別是金屬應(yīng)變傳感器不能直接安裝在撓曲裝置上（也就是實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)的地方）：金屬應(yīng)變傳感器必須安裝在某種“背襯”上,，這就導(dǎo)致了壓電致動(dòng)器存在蠕變或滯后現(xiàn)象,。由于壓電致動(dòng)器的膨脹不均勻，因此僅測量致動(dòng)器的一部分伸長率無法精確推導(dǎo)其完整伸長率,。硅基位移傳感器是通過對(duì)撓曲本身進(jìn)行測量,，不存在這種“不均勻性”問題。

綜上所述,，硅基位移傳感器在環(huán)境背景中優(yōu)于電容式傳感器,，在信噪比和穩(wěn)定性方面優(yōu)于金屬應(yīng)變傳感器。

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