1、概念：濕化學(xué)品是歐美及我國中國臺(tái)灣地區(qū)的稱呼（更為普遍）,，國際上又稱工藝化學(xué)品，我國習(xí)慣稱其為超凈高純試劑,。

2、應(yīng)用：濕化學(xué)品是超大規(guī)模集成電路,、平板顯示,、太陽能電池、晶圓等制作過程中的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一,。濕化學(xué)品一般要求超凈和高純,，對(duì)生產(chǎn)、包裝,、運(yùn)輸及使用環(huán)境的潔凈度都有很高要求。

3,、目的：濕電子化學(xué)品的金屬雜質(zhì)含量越低,、顆粒度越小，越是可以應(yīng)用于更為先進(jìn)的晶圓制程工藝,。所以濕電子化學(xué)品的核心指標(biāo)就是“純凈度”,。液體顆粒計(jì)數(shù)器來判定濕化學(xué)品的純度等級(jí)，以便對(duì)應(yīng)的企業(yè)采購對(duì)應(yīng)級(jí)別的產(chǎn)品,。

4,、檢測儀器：PMT-2 液體顆粒計(jì)數(shù)器，防腐型,。采用普洛帝核心技術(shù)創(chuàng)新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測傳感器,，雙精準(zhǔn)流量控制-精密計(jì)量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統(tǒng)，可

對(duì)鹽酸,、硫酸,、硝酸、氨水,、雙氧水,、氫氧化鉀、氫氧化鈉,、刻蝕液等化學(xué)品進(jìn)行顆粒檢測,。有0.1、0.2,、0.5三個(gè)檢測段的傳感器供選擇,。

5、試劑：單酸堿、混合液,、溶劑類,。

6、檢測過程：取一定量溶液,；用PMT-2液體顆粒計(jì)數(shù)器對(duì)液樣進(jìn)行檢測,，將檢測結(jié)果對(duì)照電子化學(xué)品SEMI國際標(biāo)準(zhǔn)等級(jí)表，來判定溶液的級(jí)別,。見下表：

7,、結(jié)論：目前太陽能電池領(lǐng)域僅需要達(dá)到G1等級(jí)；顯示面板領(lǐng)域一般要求達(dá)到G2,、G3等級(jí),；集成電路領(lǐng)域，8英寸及以下晶圓要求達(dá)到G3,、G4水平,，12英寸晶圓需要達(dá)到G5等級(jí)。國際上制備G1到G5級(jí)濕電子化學(xué)品的技術(shù)已經(jīng)趨于成熟,，國內(nèi)大部分企業(yè)已經(jīng)達(dá)到國際G3標(biāo)準(zhǔn),，并已開展G4標(biāo)準(zhǔn)的研發(fā)工作。