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液體顆粒計數(shù)器在濕電子化學(xué)品等級判定中的應(yīng)用

來源:陜西普洛帝測控技術(shù)有限公司   2024年03月13日 14:13  


1,、概念:濕化學(xué)品是歐美及我國中國臺灣地區(qū)的稱呼(更為普遍),,國際上又稱工藝化學(xué)品,我國習(xí)慣稱其為超凈高純試劑,。

2,、應(yīng)用:濕化學(xué)品是超大規(guī)模集成電路、平板顯示,、太陽能電池,、晶圓等制作過程中的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一。濕化學(xué)品一般要求超凈和高純,,對生產(chǎn),、包裝、運輸及使用環(huán)境的潔凈度都有很高要求,。

3,、目的:濕電子化學(xué)品的金屬雜質(zhì)含量越低、顆粒度越小,,越是可以應(yīng)用于更為先進的晶圓制程工藝,。所以濕電子化學(xué)品的核心指標(biāo)就是“純凈度”液體顆粒計數(shù)器來判定濕化學(xué)品的純度等級,,以便對應(yīng)的企業(yè)采購對應(yīng)級別的產(chǎn)品,。

4、檢測儀器:PMT-2 液體顆粒計數(shù)器,防腐型,。采用普洛帝核心技術(shù)創(chuàng)新型的第八代雙激光窄光顆粒檢測傳感器,,雙精準(zhǔn)流量控制-精密計量柱塞泵和超精密流量電磁控制系統(tǒng),可

對鹽酸,、硫酸,、硝酸、氨水,、雙氧水、氫氧化鉀,、氫氧化鈉,、刻蝕液等化學(xué)品進行顆粒檢測。0.1,、0.2,、0.5三個檢測段的傳感器供選擇。

5,、試劑:單酸堿,、混合液、溶劑類,。

6,、檢測過程:取一定量溶液;用PMT-2液體顆粒計數(shù)器對液樣進行檢測,,將檢測結(jié)果對照電子化學(xué)品SEMI國際標(biāo)準(zhǔn)等級表,,來判定溶液的級別。見下表:

 

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7,、結(jié)論:目前太陽能電池領(lǐng)域僅需要達到G1等級,;顯示面板領(lǐng)域一般要求達到G2、G3等級,;集成電路領(lǐng)域,,8英寸及以下晶圓要求達到G3、G4水平,,12英寸晶圓需要達到G5等級,。國際上制備G1到G5級濕電子化學(xué)品的技術(shù)已經(jīng)趨于成熟,國內(nèi)大部分企業(yè)已經(jīng)達到國際G3標(biāo)準(zhǔn),,并已開展G4標(biāo)準(zhǔn)的研發(fā)工作,。


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