真空計的類型

真空計根據(jù)用途,、測量方法、測量范圍可分為多種類型。

1. 按用途

分壓真空
計 選擇分壓真空計僅測量個別氣體的真空度,。當(dāng)兩種或多種氣體混合在一起時,，每種氣體所表現(xiàn)出的壓力就是分壓,。

它用于分析真空質(zhì)量,，因為即使在相同壓力下，性能也會根據(jù)氣體類型而有所不同,。質(zhì)譜儀是一種常見的分壓真空計,。

質(zhì)譜儀由三部分組成：離子源、分析部分和檢測部分,。通過使用電場和磁場,，可以通過僅觀察特定離子來確定每種氣體的壓力。

當(dāng)您想簡單地測量空間的真空度時,，請選擇全壓真空計,。根據(jù)測量方法的不同，有多種類型,，因此有必要選擇一種適合您的用途的類型,。

2.測量方法

測量方法主要分為三種類型。這些是“檢測壓力本身的方法”,、“利用氣體傳輸現(xiàn)象的方法”和“利用氣體中的電離現(xiàn)象的方法”,。

本身檢測壓力的方法
U型管真空計是利用壓力本身檢測的真空計。U型真空計是一種差壓表，由一端抽真空并密封的玻璃U型管制成,。

氣體壓力差可以從壓力差引起的液柱高度讀取,。U型真空計的dute之處在于它不屬于氣體類型,。因此,，它被用作其他真空計的校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)，因為它允許絕對測量壓力,。

利用氣體傳輸現(xiàn)象的方法
熱傳導(dǎo)真空計是利用氣體傳輸現(xiàn)象的真空計,。這是利用氣體的熱導(dǎo)率根據(jù)壓力而變化的特性的真空計。

熱傳導(dǎo)真空計有多種類型,，包括皮拉尼真空計,、熱敏電阻真空計和熱電偶真空計。關(guān)于熱傳導(dǎo)真空計需要注意的重要一點是,，在高真空下,，熱輻射的影響變得大于熱傳導(dǎo)的影響。因此,，熱導(dǎo)真空計的缺點是不能用于高真空測量,。

利用氣體中的電離現(xiàn)象的方法利用
氣體中的 電離現(xiàn)象的真空管包括潘寧真空計(冷陰極電離真空計)和離子計(熱陰極電離真空計)。彭寧真空計可以利用真空中的放電現(xiàn)象來測量壓力,。雖然具有優(yōu)異的耐久性,，但其靈敏度根據(jù)氣體種類的不同而有很大差異。

潘寧真空計的優(yōu)點是電路配置簡單,。另一方面,，其缺點是潘寧放電不穩(wěn)定，難以高精度測量,。此外,，如果表面污染嚴(yán)重，則從陰極發(fā)射的電子量會減少,，導(dǎo)致無法放電,，并且如果陰極處于高真空中，則可能難以開始放電,。

3,、測量范圍

壓力分為低真空、中真空,、高真空,、超高真空等真空度，根據(jù)真空計的類型不同,，測量真空度也不同,。根據(jù)JIS（日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)），真空度根據(jù)壓力范圍分為如下所示的五類。皮拉尼真空計可以測量低真空到中真空,，電離真空計可以測量中真空到超高真空,。

• 低真空：10 ⁵ Pa～10 ² Pa

• 中真空：10 ² Pa～10 ^-1 Pa

• 高真空：10 ^-1 Pa～10 ^-5 Pa

• 超高真空：^-5 Pa至1 ^0-8 Pa

• jigao真空：10 ^-8 Pa以下