AMO編碼器測(cè)量原理

AMOSIN®編碼器的工作原理是變壓器具有移動(dòng)磁阻,。變壓器初級(jí)繞組和次級(jí)繞組的互感會(huì)根據(jù)相對(duì)于鐵芯的相對(duì)位置而變化,。AMOSIN®系統(tǒng)（圖1）由平面微線圈結(jié)構(gòu)和測(cè)量刻度組成,。線圈結(jié)構(gòu)由多個(gè)線圈沿測(cè)量方向排列（正弦和余弦的單組微線圈）采用微多層柔性電路技術(shù)集成在基板上,。該刻度是一種不銹鋼刻度,，具有高精度光刻蝕刻周期刻度（例如λ=1000微米）,，具有可變磁阻,。

電感式傳感器（編碼器頭）與測(cè)量柵尺之間在測(cè)量方向上的相對(duì)運(yùn)動(dòng)會(huì)周期性地改變每個(gè)線圈的互感,，并產(chǎn)生兩個(gè)正弦90°相移信號(hào)（SIN和COS）,。使用純正弦波信號(hào)激勵(lì)，最終輸出具有出色的信號(hào)質(zhì)量和穩(wěn)定性,，不受環(huán)境影響,，因此在評(píng)估電子設(shè)備中進(jìn)行信號(hào)調(diào)理后，誤差僅與理想的正弦波形狀（諧波含量）偏差0.1%,。這允許在測(cè)量編碼器或后續(xù)電子設(shè)備（CNC等）中對(duì)數(shù)字信號(hào)進(jìn)行高插值（細(xì)分電平）,。

功能原理的一個(gè)關(guān)鍵特征是AMOSIN®感應(yīng)式掃描不會(huì)導(dǎo)致電滯后。由于高頻交變場(chǎng)和低通濾波,，與磁性系統(tǒng)相比,，材料滯后被抑制。電感式傳感器輸出的信號(hào)處理評(píng)估電子元件連續(xù)實(shí)時(shí)插值,，無(wú)需選通時(shí)間,，差分線路驅(qū)動(dòng)器的輸出可以是 1 Vpp 正弦波或方波。

除了周期性正交輸出信號(hào)（A,、B及其反相信號(hào)）外,，參考折射率脈沖信號(hào)還可用于確定絕對(duì)方向。該參考分度信號(hào)在測(cè)量刻度上帶有分度標(biāo)記,，不需要任何外部附加開(kāi)關(guān)元件,。

絕對(duì)值測(cè)量編碼器

對(duì)于絕對(duì)測(cè)量編碼器，使用額外的編碼圖案與具有代碼共享的周期性光柵間距并行（圖 2）,。這種編碼由掃描頭感應(yīng)式檢測(cè),。讀取的二進(jìn)制字在滿量程長(zhǎng)度上是優(yōu)質(zhì)的,，此后是一個(gè)“查找表”,，用于將數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為絕對(duì)線性或角度值。對(duì)于高分辨率定位,，如上所述,，增量刻度的評(píng)估與絕對(duì)位置合并。

亞微米分辨率

長(zhǎng)度可達(dá)約30 000 mm,，直徑可達(dá)10 000 mm,，分辨率在亞微米范圍內(nèi)。位置數(shù)據(jù)通過(guò)串行接口（EnDat 2.2、DRIVE-CLiQ,、Fanuc,、SSI、BISS,、Mitsubishi）傳輸,。