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超痕量水分儀在半導(dǎo)體制造前端工藝上的運用

來源：秋山科技（東莞）有限公司 2024年01月19日 14:37

超痕量水分儀在半導(dǎo)體制造前端工藝上的運用

超微量水分計“FalconTrace”采用球型SAW傳感器，可定量測量工業(yè)氣體和天然氣中所含的微量水分子,。

響應(yīng)速度極快,，可以實時監(jiān)測水分含量的變化，還可以測量水分含量和背景氣體成分分析兩項,?？梢跃_測量氣體中的水分濃度，低至 1 ppb（十億分之一）水平,。

球聲表面波傳感器的測量原理

① 叉指換能器（IDT）產(chǎn)生表面聲波
② 表面聲波在球的赤道上循環(huán),，對所涂
敏感膜的微小變化做出反應(yīng) 通過異形電極進行檢測
④ 通過積分微小變化實現(xiàn)高靈敏度傳感通過多次輪換。

介紹示例/應(yīng)用

半導(dǎo)體制造設(shè)備制造商
（主要是前端工藝）
蓄電池制造商及其
材料制造商的制造流程
工業(yè)氣體制造商

產(chǎn)品陣容

響應(yīng)速度極快,，可以在幾秒鐘內(nèi)監(jiān)控水分含量的變化,，這對于穩(wěn)定半導(dǎo)體和二次電池制造過程中的產(chǎn)品產(chǎn)量和質(zhì)量非常有用。
無需重新配置每種背景氣體,，當(dāng)天然氣等成分出現(xiàn)波動時,，可以同時檢測。另一個主要優(yōu)點是傳感器材料是水晶球,，使其耐腐蝕,、重量輕且易于攜帶。

FT-700WT

該系列中的頂級型號,，實現(xiàn)“超”微量水分測量

測量范圍廣泛的露點,，從-110℃到-20℃
除了露點測量之外，還以%水平檢測背景氣體*的成分（相當(dāng)于平均分子量）
*背景氣體：水分含量測量的目標氣體
該裝置涵蓋從天然氣到高純度氣體的所有氣體,。

應(yīng)用實例

工業(yè)氣體制造過程和運輸過程中的質(zhì)量控制,、半導(dǎo)體制造材料氣體的純度控制

FT-400WT

中檔型號，可實現(xiàn)中檔實時測量,。

1秒內(nèi)測量從-90℃起的露點變化,，非常適合測量實時控制系統(tǒng)
也可以更改為設(shè)備內(nèi)置型*
*請聯(lián)系我們,。

應(yīng)用實例

一般生產(chǎn)線的質(zhì)量控制、電池制造過程中的水分含量監(jiān)測

FT-300WT

小型通用機型,，在保持高速響應(yīng)的同時強調(diào)便攜性,。

1秒內(nèi)測量從-70℃起的露點變化，同時支持實時測量系統(tǒng)
輕而小,，僅重2公斤,，方便攜帶至目標區(qū)域
由于電池供電，可在沒有市電的地方使用

應(yīng)用實例

干燥箱,、空間水分分布,、一般氣體

相關(guān)產(chǎn)品

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