客戶在使用易度微流量的流量計時反饋了一些問題：明明氣源已經關閉了，流量計仍然有讀數(shù),；在做氣密性測試時旁路充氣關閉后讀數(shù)長時間不能穩(wěn)定下來。為什么會出現(xiàn)這種情況呢,？

易度標準款流量計最小量有滿量程0.5SCCM的流量計,，最小可以測到0.005SCCM的流量，甚至還能定制更小流量的型號。這樣精密的儀器有時候在系統(tǒng)中的表現(xiàn)并不是很好,，很大一部分原因就是沒有充分考慮容積效應帶來的影響,。

什么是容積效應？

我們都知道氣體是熱脹冷縮的,。一定量的氣體,，溫度變化后，隨之也會引起壓力或者體積的變化,，這就是容積效應（也叫容升效應）,。一般情況下，這并不會給氣體測量帶來什么影響,，而且易度流量計本身就集成有高靈敏的溫度傳感器,，可以通過溫度補償獲得準確的標況流量，但是在測極小流量的時候,，氣體容積效應的影響就被放大了,。

假如一臺0.5SCCM的流量計后端管路內徑是6mm，長度1m,，那么這段管路容積大約有113mL,假如整個系統(tǒng)處于標況下（101.325kPa,、25℃），此時后端管路溫度下降0.1℃,，根據(jù)理想氣體狀態(tài)方程,，壓力會變成101.291kPa，流量計要達到前后端壓力平衡需要流過0.038mL體積的氣體,，而此時前后壓差很?。ú蛔?/span>40Pa），流量也會很小,，（大約0.005~0.01SCCM）,，流過0.038mL的氣體足足需要4~8分鐘！而這僅僅是這段細小的管路溫度變化了0.1℃引起的,！ 

我們該怎樣減小容積效應的影響呢,？

如果客戶選擇小微流量的流量計，說明測量的流量基本上就是微升量級的,，對系統(tǒng)的要求也就很高了,。一是相應的管路設計標準也得提高，盡量使管路更細更短,、減少閥件數(shù)量,，使管路容積更小,；二是氣源要穩(wěn)定,，對于小微流量的流量計來說,，氣源的少許波動就會引起流量很大的變化；三是環(huán)境溫度盡量保持恒定,，通過封閉,、隔離、水浴等方式減小系統(tǒng)溫度變化,。

話說,，一段細小的管路溫度變化0.1℃是個什么概念呢？嗯…大約就是你的身體靠近管路（不接觸）一會兒就能引起的,。