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微量水分析儀利用電解水分子為氫氣與氧氣的原理。傳感器由一個玻璃材質的圓柱和兩根并行的電極組成,。電極材質通常由鉑或銠金屬絲制成,，并在兩根電極之間涂有很薄的一層磷酸H3PO4。當兩電極之間出現(xiàn)電解電流時,，酸中的水分會被分解為氫氣和氧氣,。這一過程的最終產物是五氧化二磷，這是一種高吸濕性物質,，因此會從樣氣中吸收水分,。通過連續(xù)的電解過程，樣氣的水分含量與電解后的水分是平衡的,。電極電流與樣氣中水分含量成比例,，信號經過儀器內部信號放大器處理后顯示并讀出數(shù)據,。
這種原理可以用來測量各種氣體，包括Cl2,、HCl,、H2S、H2SO4,、HBr,、SO2、SF6,、CO2等氣體和全部惰性氣體,，極少數(shù)會同磷酸發(fā)生化學反應的氣體除外。探頭適用于測量各種惰性氣體,、碳氫化合物或根據所選擇的探頭材質應用于HCl,、Cl2或SO2等腐蝕性氣體中。探頭與樣氣接觸的材料可以是玻璃,、鉑或銠,，其他材質也可以提供。樣氣以特別的傳遞方式流經探頭,，再結合一個高質量的界面,，從而確保探頭響應迅速和受干擾影響最小，這些設計對于很低的ppm級測量十分重要,。
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