前言

自1947年第一塊晶體管誕生,，人類從此步入了飛速發(fā)展的電子時代,。經(jīng)歷70多年的發(fā)展,，半導(dǎo)體技術(shù)不僅在先進(jìn)科研領(lǐng)域,，也早已與人們的日常生活密不可分,，如半導(dǎo)體芯片,、智能汽車、智慧電網(wǎng),、5G通信,、航空航天、國防,、醫(yī)療衛(wèi)生等等,。

1 挑戰(zhàn)

半導(dǎo)體中雜質(zhì)的存在使嚴(yán)格按周期性排列的原子所產(chǎn)生的周期性勢場受到破壞,，這對半導(dǎo)體材料的性質(zhì)產(chǎn)生決定性的影響。因此,，痕量水平半導(dǎo)體行業(yè)無機(jī)雜質(zhì)和有機(jī)污染物的檢測是操作過程中的一項重大挑戰(zhàn),。

什么是有機(jī)雜質(zhì)? 有機(jī)雜質(zhì),，也被稱為有機(jī)污染物，其存在可能會導(dǎo)致晶圓表面產(chǎn)生非預(yù)期的疏水性質(zhì),、增加表面的粗糙度,、產(chǎn)生霧化表面、和破壞外延層的生長,，且在未先移除污染物的情況下,，也會影響金屬污染的清洗效果。粒子污染則可能導(dǎo)致在蝕刻及微影工藝中,，產(chǎn)生阻塞或遮蔽效應(yīng),；在薄膜成長或沉積過程中，產(chǎn)生針孔和微孔,，若粒子顆粒較大且具有導(dǎo)電性,，甚至?xí)?dǎo)致線路短路,。半導(dǎo)體元件生產(chǎn)過程中產(chǎn)生廢品的原因，50%是由清洗試劑以及材料內(nèi)部的污染元素造成的,！

2 解決方案

通過配置高靈敏PlasmaQuant MS ICP-MS和濕法multi N/C UV HS總有機(jī)碳分析儀,，可以滿足SEMI F57中對于金屬元素及總有機(jī)碳檢測的所有需求，簡單,、快捷,、可靠！

 

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2. 總有機(jī)碳分析：multi N/C UV HS 總有機(jī)碳分析儀（TOC）

• 強氧化消解能力保證樣品完全氧化，254nm和185nm雙波長高能量紫外反應(yīng)池,。

• 全量程高聚焦NDIR檢測器,，0-10000ppm測量范圍，無需量程轉(zhuǎn)換,。自動漂移校正,、補償， 無需任何稀釋,，免維護(hù)檢測器,，滿足潔凈及污染任何狀態(tài)下樣品分析。

• 較強的抗干擾能力,，避免其他雜質(zhì)共存干擾,。

• 高靈敏度，高達(dá)20mL進(jìn)樣體積,，靈活調(diào)節(jié)靈敏度,，擴(kuò)展應(yīng)用范圍。

• 免維護(hù)帕爾貼干燥單元,，無需模式干燥器及化學(xué)干燥劑,，節(jié)省成本,，操作更為簡便,。

• VITA流速管理系統(tǒng)，實時提供流速補償消除波動,，得到絕對可靠的分析結(jié)果,，儀器長期穩(wěn)定，一年內(nèi)無需反復(fù)校正,。

• 較強的耐鹽能力,，最高可允許85g/L含鹽樣品直接進(jìn)樣分析。

3 小結(jié)

根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)SEMI F57：用于超純水和液態(tài)化學(xué)品輸送系統(tǒng)的聚合物材料及組件的規(guī)范文件要求,，評價半導(dǎo)體輸送管道的性能,，鑒于浸泡液的成分多樣性，需要儀器具有較強的抗干擾能力,，同時對于潔凈與污染的評估需求,，需要儀器既具有高靈敏度，又具有寬范圍的能力,。

?德國耶拿長期致力于金屬離子及總有機(jī)碳分析全套解決方案,，深耕元素分析領(lǐng)域，積累眾多分析經(jīng)驗,。德國品質(zhì),，追求創(chuàng)新，德國耶拿PlasmaQuant MS電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）和multi N/C UV HS總有機(jī)碳分析儀完全滿足SEMI F57標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定的22種金屬離子和總有機(jī)碳參數(shù)的檢測，助力半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展,！