半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中硅片須經(jīng)嚴(yán)格清洗。微量污染也會(huì)導(dǎo)致器件失效,。清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì),,包括有機(jī)物和無(wú)機(jī)物。這些雜質(zhì)有的以原子狀態(tài)或離子狀態(tài),,有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面,。有機(jī)污染包括光刻膠、有機(jī)溶劑殘留物,、合成蠟和人接觸器件,、工具、器皿帶來(lái)的油脂或纖維,。無(wú)機(jī)污染包括重金屬金,、銅、鐵,、鉻等,,嚴(yán)重影響少數(shù)載流子壽命和表面電導(dǎo);堿金屬如鈉等,,引起嚴(yán)重漏電,;顆粒污染包括硅渣、塵埃,、細(xì)菌,、微生物、有機(jī)膠體纖維等,,會(huì)導(dǎo)致各種缺陷,。清除污染的方法有物理清洗和化學(xué)清洗兩種。
晶圓,、鏡片,、玻璃、電路板表面檢測(cè)用 LED超高亮度光源 PSVLX1-F5016
特點(diǎn): 1. LED冷光源,,不會(huì)在照射表面產(chǎn)生高溫,。 2. 20000小時(shí)長(zhǎng)壽命。 3. 采用低功耗高效LED,,無(wú)風(fēng)扇自然散熱,,適合無(wú)塵車間使用。 4. 通過(guò)使用可選配件濾鏡,,可在黃光和白光之間切換,。 規(guī)格: 照度 LWD 150mm時(shí), 15萬(wàn)Lux,。 光斑大小 LWD 150mm時(shí),, 光斑直徑65~80mm可調(diào)。 電壓 AC 100~240V。 消耗功率 最大30W,。 重量 光源 1.7Kg,,電源0.8Kg。 最大尺寸 長(zhǎng)290mm,,寬180mm,,高610mm。
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