半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中硅片須經(jīng)嚴(yán)格清洗,。微量污染也會導(dǎo)致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì),,包括有機(jī)物和無機(jī)物,。這些雜質(zhì)有的以原子狀態(tài)或離子狀態(tài),,有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面,。有機(jī)污染包括光刻膠,、有機(jī)溶劑殘留物、合成蠟和人接觸器件,、工具、器皿帶來的油脂或纖維,。無機(jī)污染包括重金屬金,、銅、鐵,、鉻等,,嚴(yán)重影響少數(shù)載流子壽命和表面電導(dǎo);堿金屬如鈉等,,引起嚴(yán)重漏電,;顆粒污染包括硅渣、塵埃,、細(xì)菌,、微生物、有機(jī)膠體纖維等,,會導(dǎo)致各種缺陷,。清除污染的方法有物理清洗和化學(xué)清洗兩種。
晶圓,、鏡片,、玻璃,、電路板表面檢測用 LED超高亮度光源 PSVLX1-F5016
特點: 1. LED冷光源,不會在照射表面產(chǎn)生高溫,。 2. 20000小時長壽命,。 3. 采用低功耗高效LED,無風(fēng)扇自然散熱,,適合無塵車間使用,。 4. 通過使用可選配件濾鏡,可在黃光和白光之間切換,。 規(guī)格: 照度 LWD 150mm時,, 15萬Lux。 光斑大小 LWD 150mm時,, 光斑直徑65~80mm可調(diào),。 電壓 AC 100~240V。 消耗功率 最大30W,。 重量 光源 1.7Kg,,電源0.8Kg。 最大尺寸 長290mm,,寬180mm,,高610mm。
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