氣體質(zhì)量流量計的流量單位通常是SCCM(mL/min)、SLPM(L/min),，有時候我們需要g/s,、g/min，他們之間如何換算呢,？

我們在中學時期就學習過質(zhì)量和體積的關系：

m=ρv

其中m是質(zhì)量,，ρ是密度，v是體積,。這么看來的話質(zhì)量與體積之間的換算非常簡單,，只需要通過密度換算一下就可以了。

但是使用氣體密度的時候就要非常注意了,，氣體是可壓縮的,，不同的壓力,、不同的溫度下對應的氣體密度都不一樣，因此我們描述氣體密度時通常是：在某個壓力,、某個溫度下,，某種氣體的密度是多少。

易度流量計定義的標況流量指的是在101.325kPa,、25℃狀況下的氣體體積流量,，因此如果要將此標況流量換算成質(zhì)量單位需要查詢被測氣體在101.325kPa、25℃狀況下的密度,，再運用上述公式進行計算,。

如果無法查詢到氣體密度該怎么辦呢？

別急,，即使不知道氣體密度,，我們?nèi)匀荒軌蜻M行氣體質(zhì)量與體積的換算。這時我們就需要氣體摩爾體積這個概念了,。

首先我們需要知道一個事實：1mol任何氣體在101.325kPa,、0℃下的體積都是22.4L，這個體積被稱為氣體的摩爾體積,。通過理想氣體狀態(tài)方程：

PV=nRT（公式1）

我們就可以計算出氣體在101.325kPa,、25℃（易度流量計定義的標況）下摩爾體積是24.45L。摩爾其實是個數(shù)量單位,，1mol氣體指的就是6.02×10²³個氣體分子,，這么多分子的總質(zhì)量就稱為這種氣體的摩爾質(zhì)量，質(zhì)量與摩爾質(zhì)量的關系如下：

m=nM（公式2）

其中m是質(zhì)量,，n是物質(zhì)的量,，M是摩爾質(zhì)量。摩爾質(zhì)量在數(shù)值上剛好等于分子量,，分子量又等于分子的質(zhì)子和中子之和,，而大部分常見氣體分子的分子式都很簡單，可以直接看出分子量,。

圖：組成氣體分子的元素通常比較靠前,，原子量與元素序號有一定聯(lián)系

知道了分子量，也就知道了摩爾質(zhì)量M,；知道了標況流量,，也就可以計算出物質(zhì)的量n，就可以輕松得到氣體質(zhì)量流量了：

Q_{質(zhì)量流量}=Q_標況流量/24.45×Mr（公式3）

其中是Mr是分子量,。

可能有的小伙伴到這里有點暈了，沒關系,，如果你的流量計設定的標況是101.325KPa,、25℃,，只要按照上面的公式計算即可，不必在意推導過程,。下面我們就來實踐一下吧,，看看通過密度計算和通過分子量計算的質(zhì)量流量結果是否相同。

例：流量計測得氮氣（N₂）流量為100SLPM,，計算氮氣的流量是多少克每秒,。

答：

方法一：查詢氮氣在101.325KPa、25℃時的密度為ρ=1.13 g/L,，

代入公式

m=ρv

1.13×100÷60=1.88

則氮氣流量為1.88g/s,。

方法二：氮氣分子量為28，代入公式4：

100/60/24.45×28=1.9

則氮氣流量為1.9g/s,。

可以看到兩種方法計算結果非常接近,，他們之間存在約1%的誤差，因為氣體摩爾體積不是精確值,，分子量也省略了小數(shù)點后的數(shù)值,，為的是可以方便地計算。

綜上所述,，通過密度計算優(yōu)點是比較精確,，缺點是必須知道氣體在101.325KPa、25℃時的密度,，而通過網(wǎng)絡搜索查詢可能會得到錯誤的密度值（大部分網(wǎng)上搜索數(shù)據(jù)都是101.325KPa,、0℃下的氣體密度值）。通過分子量計算缺點是精確度稍差(1%的誤差仍在可接受范圍之內(nèi)),，但優(yōu)點是不需要查詢氣體密度,，大部分常見氣體分子量通過各元素在元素周期表里的排序就能知道。