進(jìn)口氦質(zhì)譜檢漏儀常見故障維修

氦質(zhì)譜檢漏儀故障維修

　　氦質(zhì)譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應(yīng)速度快,、定位定量準(zhǔn)確等優(yōu)點而被廣泛應(yīng)用于壓力容器,、航空航天,、原子能、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領(lǐng)域。氦質(zhì)譜檢漏儀機械泵故障及處理

　　1,、機械泵不動作

　　檢查項目有：氦質(zhì)譜檢漏儀電源電壓是否正常，開關(guān)是否打開,，繞組是否斷路或接地,，電機是否過熱(泵冷卻后是否能啟動)。

　　2,、機械泵聲音異常

　　檢查油位是否合適,，油質(zhì)是否變壞，油溫是否<10℃,，油霧過濾器的出口有無氣體排出(如果無氣體排出,，更換油霧過濾器)。

氦質(zhì)譜檢漏儀分子泵故障及處理

　　1,、儀器界面上TMP顯示“0”即分子泵沒有工作

　　有可能是前級壓力過高(該分子泵的啟動壓力為200Pa)導(dǎo)致分子泵無法啟動,。檢查導(dǎo)致壓力過高的項目有：真空規(guī)管是否有問題，分子泵出口是否打開,，機械泵油是否太臟或機械泵是否轉(zhuǎn)動,，系統(tǒng)是否有泄漏,。也有可能是分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子被損害,，可自行用工具撥動葉片，判斷其能否轉(zhuǎn)動。

　　2,、分子泵加速指示燈不亮

　　電路板上的保險絲燒斷,，更換保險絲或檢查是否有短路現(xiàn)象。

　　3,、分子泵故障燈亮

　　檢查電路板設(shè)置開關(guān)是否處于R位置,，此時應(yīng)該在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止,，如風(fēng)扇正常,，則可能為氦質(zhì)譜檢漏儀分子泵電源故障。

氦質(zhì)譜檢漏儀質(zhì)譜室故障及處理

　　1,、燈絲無法正常啟動,，在確認(rèn)機械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后,，若燈絲仍無法發(fā)射離子流,，則需要更換離子源。若燈絲指示燈閃爍,，檢查離子源航空插座與接線柱是否開路,，若開路，需要更換燈絲,，若不開路,，檢查其接線柱與其他接頭是否導(dǎo)通，消除短路現(xiàn)象,。

　　2,、本底信號處于雜亂無章的波動狀態(tài)且大小遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過氦質(zhì)譜檢漏儀故障自身的本底噪聲，需要考慮放大器是否故障,。質(zhì)譜室出現(xiàn)故障一般用戶無法解決,，只需對故障進(jìn)行定位，交由維修ZX處理,。

氦質(zhì)譜檢漏儀檢測開始時出現(xiàn)的故障

　　1,、檢漏鍵無效(綠色指示燈亮)

　　檢查燈絲是否啟動。如果燈絲沒有啟動或者燈絲斷,，按檢漏鍵將沒有反應(yīng),。

　　2、檢漏鍵無效(指示燈不亮)

　　I/O短接插頭未插入氦質(zhì)譜檢漏儀故障后面插座,。如果I/O短接插頭未插入儀器后面插座,，這時氦質(zhì)譜檢漏儀將接受I/O口輸入信號，而不接受遙控器信號,，檢漏鍵無效,。

氦質(zhì)譜檢漏儀自動校準(zhǔn)結(jié)束時出現(xiàn)的故障

　　自動校準(zhǔn)失敗(燈絲亮)紅色校準(zhǔn)燈亮,。首先檢查自動校準(zhǔn)設(shè)置，開關(guān)S1是否處于OFF位置,，所設(shè)置的漏率值和標(biāo)準(zhǔn)漏孔值是否一致,。溫度傳感器是否接上;其次是檢查靈敏度，清洗質(zhì)譜室(如果用外部校準(zhǔn)漏孔檢查顯示值和實際值一致,，氦質(zhì)譜檢漏儀也可使用),。

氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏時出現(xiàn)的故障

　　1、不向細(xì)檢方式轉(zhuǎn)換,，檢漏口壓力<2×10-4MPa：檢查粗檢指示燈是否亮,，如果亮，說明氦質(zhì)譜檢漏儀置于粗檢方式,。再按一下粗檢開關(guān)切換到自動轉(zhuǎn)換狀態(tài),。

　　2、靈敏度低,。檢查三極規(guī)所測壓力,，等到質(zhì)譜室壓力<10-6MPa時再檢漏;如果壓力達(dá)到，檢查離子源是否被污染,，清洗離子源,。

　　3、氦本底太高,。檢查機械泵油是否失效(泵油長期使用變質(zhì)會吸附較多的氦氣,，導(dǎo)致氦污染)，檢查儀器系統(tǒng)是否有漏,，真空管路是否污染,，檢查三極規(guī)上壓力是否達(dá)到10-6MPa，離子源是否污染,。另外還要注意環(huán)境的污染問題,，如果有多臺氦質(zhì)譜檢漏儀，且氦氣的使用量較大,，通風(fēng)不好時,，致使氦氣擴散慢，也會導(dǎo)致氦污染,。解決辦法是在檢漏口的放氣閥放氣口(通常通大氣)處,，安裝一個幾升容量的氣瓶，該氣瓶與低壓氦氣管路連接,。這樣,，就大大減少了環(huán)境的氦污染。

　　4,、工裝設(shè)計不合理導(dǎo)致檢漏通不過,。初檢時工作正常,，工作幾次后，抽速大大減慢,，檢漏不過;加死堵氦質(zhì)譜檢漏儀不漏，工作正常,。這是因為工裝設(shè)計不合理所致,，比如工裝結(jié)構(gòu)不合理，內(nèi)表面太粗糙,，導(dǎo)致過多的氦氣殘留;或者密封設(shè)計不合理導(dǎo)致密封不可靠(由于工裝設(shè)計人員對專業(yè)真空設(shè)計不熟悉),。

　　5、操作不合理導(dǎo)致故障,。如工作中,，有一個大漏的工件，由于操作人員判斷錯誤,，不認(rèn)為工件漏,，而去檢查工裝的連接或者氦質(zhì)譜檢漏儀，多次對這一工件檢漏,。這樣就會發(fā)現(xiàn),，所有工件都不過。原因是大漏的工件經(jīng)多次檢漏后,，有大量的氦氣進(jìn)入質(zhì)譜室,，造成質(zhì)譜室污染。解決的辦法是,，清理質(zhì)譜室,，反復(fù)吸氣排氣。