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原位掃描電鏡（SEM）的應(yīng)用原理主要是利用電子成像來觀察樣品的表面形貌,。當(dāng)一束極細(xì)的高能電子束在試樣上掃描時,，與試樣相互作用產(chǎn)生各種物理信息,，如二次電子、背散射電子,、特征X射線和連續(xù)譜X射線,、透射電子等。通過對這些信息的接受,、放大和顯示成像,，獲得測試試樣表面形貌的觀察。
SEM的分辨率高于光學(xué)顯微鏡的分辨率,，因?yàn)殡娮拥牟ㄩL遠(yuǎn)小于光的波長,。此外，SEM還可以進(jìn)行樣品表面的元素分析,，如C,、S、N等元素的分布情況。
在具體應(yīng)用中,，原位掃描電鏡可以用于材料科學(xué),、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的研究和質(zhì)量控制,。例如,，在材料科學(xué)領(lǐng)域，SEM可以觀察金屬,、陶瓷,、高分子等材料的表面形貌和微觀結(jié)構(gòu)；在生物學(xué)領(lǐng)域,，SEM可以觀察細(xì)胞和組織的表面形貌和結(jié)構(gòu),；在醫(yī)學(xué)領(lǐng)域，SEM可以用于疾病診斷和藥物研發(fā)等,。
原位掃描電鏡的應(yīng)用原理是通過電子束與樣品相互作用產(chǎn)生各種物理信息,，對這些信息進(jìn)行接收、放大和顯示成像,，從而獲得試樣表面形貌和結(jié)構(gòu)的信息,。
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