旋涂儀需要注意哪些細(xì)節(jié)

來源：江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司 2023年08月25日 18:19

　　1、旋轉(zhuǎn)速度：轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性,。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速如果誤差很大,，對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的,。國產(chǎn)的某些勻膠機(jī)只能提供轉(zhuǎn)速范圍，并不能準(zhǔn)確標(biāo)定實(shí)時(shí)的轉(zhuǎn)速,。進(jìn)口的勻膠機(jī)雖然大部分能標(biāo)定轉(zhuǎn)速,，但是大部分轉(zhuǎn)速精度沒有國際標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)定。

　　2,、真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造

　　真空泵一定要無油的,，壓力標(biāo)定準(zhǔn)確，國內(nèi)生產(chǎn)的無油真空泵實(shí)在不敢恭維,。因?yàn)槿魏蔚挠臀鄱伎赡芏氯婵展艿?，如果真空吸附力降低，會?dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況,，還會讓滴膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成完全堵塞,。用過國產(chǎn)勻膠機(jī)的客戶常常會關(guān)心怎么清洗的問題，這一點(diǎn)許多國外的勻膠機(jī)做得不錯,，他們有通過聯(lián)動機(jī)制,，如果真空吸附力不夠的時(shí)候，不會開始旋轉(zhuǎn),。

　　3,、材質(zhì)的選擇

　　對于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用來說，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵,，大部分勻膠機(jī)采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì),，因?yàn)檫@種材質(zhì)的成本很低，不銹鋼的對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好,，塑料對于較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形,。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會導(dǎo)致旋涂時(shí),，時(shí)高時(shí)低的顛簸狀態(tài),。自然無法得到好的旋涂效果。目前有些國外品牌采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯(特氟隆)材質(zhì),。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保,、節(jié)約資源、重量輕,、強(qiáng)度大,、抗沖擊性能好、堅(jiān)固耐用,、花紋自然,、光澤度好等優(yōu)點(diǎn),。

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