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1,、旋轉(zhuǎn)速度：轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性,。如果標示的轉(zhuǎn)速和電機的實際轉(zhuǎn)速如果誤差很大，對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數(shù)據(jù)的。國產(chǎn)的某些勻膠機只能提供轉(zhuǎn)速范圍,，并不能準確標定實時的轉(zhuǎn)速,。進口的勻膠機雖然大部分能標定轉(zhuǎn)速，但是大部分轉(zhuǎn)速精度沒有國際標準認定,。
2,、真空吸附系統(tǒng)的構造
真空泵一定要無油的，壓力標定準確,，國內(nèi)生產(chǎn)的無油真空泵實在不敢恭維,。因為任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低,，會導致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況,，還會讓滴膠液不慎進入真空管道系統(tǒng)造成完全堵塞。用過國產(chǎn)勻膠機的客戶常常會關心怎么清洗的問題,，這一點許多國外的勻膠機做得不錯,，他們有通過聯(lián)動機制，如果真空吸附力不夠的時候,，不會開始旋轉(zhuǎn),。
3、材質(zhì)的選擇
對于半導體化工行業(yè)的應用來說,，材質(zhì)的選擇尤為關鍵,，大部分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì)，因為這種材質(zhì)的成本很低,，不銹鋼的對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好,，塑料對于較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,，將會導致旋涂時,，時高時低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果,。目前有些國外品牌采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯(特氟隆)材質(zhì),。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源,、重量輕,、強度大、抗沖擊性能好,、堅固耐用,、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點,。
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