靜電是一種電能,,它存留于物體表面,是正負電荷在局部范圍內失去平衡的結果,,是通過電子或離子的轉換而形成的。靜電現(xiàn)象是電荷在產(chǎn)生和消失過程中產(chǎn)生的電現(xiàn)象的總稱,。如摩擦起電,、人體起電等現(xiàn)象。
隨著科技發(fā)展,,靜電現(xiàn)象已在靜電噴涂,、靜電紡織、靜電分選,、靜電成像等領域得到廣泛的有效應用,。但在另一方面,靜電的產(chǎn)生在許多領域會帶來重大危害和損失,。例如在*個阿波羅載人宇宙飛船中,,由于靜電放電導致爆炸,使三名宇航員喪生,;在火藥制造過程中由于靜電放電(ESD),,造成爆炸傷亡的事故時有發(fā)生。在電子工業(yè)中,,隨著集成度越來越高,,集成電路的內絕緣層越來越薄,互連導線寬度與間距越來越小,,例如CMOS器件絕緣層的典型厚度約為0.1μm,,其相應耐擊穿電壓在80-100V;VMOS器件的絕緣層更薄,,擊穿電壓在30V,。而在電子產(chǎn)品制造中以及運輸、存儲等過程中所產(chǎn)生的靜電電壓遠遠超過MOS器件的擊穿電壓,,往往會使器件產(chǎn)生硬擊穿或軟擊穿(器件局部損傷)現(xiàn)象,,使其失效或嚴重影響產(chǎn)品的可靠性。
為了控制和消除ESD,,美國,、西歐和日本等發(fā)達國家均制定了國家、軍用和企業(yè)標準或規(guī)定,。從靜電敏感元器件的設計,、制造,、購買、入庫,、檢驗,、倉儲、裝配,、調試,、半成品與成品的包裝、運輸?shù)染邢鄳?guī)定,,對靜電防護器材的制造使用和管理也有較嚴格的規(guī)章制度要求,。我國也參照標準制定了軍用和企業(yè)標準。例如有航天部,、機電部,、石油部等標準。
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