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簡介
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TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀是常州同惠電子根據(jù)當(dāng)前半導(dǎo)體功率器件發(fā)展趨勢,針對半導(dǎo)體材料及功率器件設(shè)計的分析儀器,。
儀器采用了一體化集成設(shè)計,二極管,、三極管,、MOS管及IGBT等半導(dǎo)體功率器件寄生電容、CV特性可一鍵測試,,無需頻繁切換接線及設(shè)置參數(shù),,單管功率器件及模組功率器件均可一鍵快速測試,適用于生產(chǎn)線快速測試,、自動化集成,。
CV曲線掃描分析能力亦能滿足實驗室對半導(dǎo)體材料及功率器件的研發(fā)及分析。
儀器設(shè)計頻率為1kHz-2MHz,VGS電壓可達(dá)±40V,,VDS電壓可達(dá)±200V/±1500V/±3000V,,足以滿足大多數(shù)功率器件測試。
功能特點
A.一體化測試,,集成度高,、體積小、效率高
一臺儀器內(nèi)置了LCR數(shù)字電橋,、VGS電壓源,、VDS電壓源、高低壓切換矩陣以及上位機(jī)軟件,,將復(fù)雜的接線,、繁瑣的操作集成在支持電容式觸摸的Linux系統(tǒng)內(nèi),操作更簡單,。特別適合產(chǎn)線快速化,、自動化測試。
B.單管器件測試,,10.1寸大屏,,四種寄生參數(shù)同屏顯示,讓細(xì)節(jié)一覽無遺
MOSFET或IGBT最重要的四個寄生參數(shù):Ciss,、Coss,、Crss、Rg,,Cies,、Coes、Cres,、Rg均可一鍵測試,,10.1寸大屏可同時將測量結(jié)果、等效電路圖,、分選結(jié)果等重要參數(shù)同時顯示,,一目了然。
一鍵測試單管器件器件時,,無需頻繁切換測試腳位,、測量參數(shù)、測量結(jié)果,,大大提高了測試效率,。
C.列表測試,多個,、多芯,、模組器件測量參數(shù)同屏顯示
TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀支持最多6個單管器件,、6芯器件或6模組器件測試,所有測量參數(shù)通過列表掃描模式同時顯示測試結(jié)果及判斷結(jié)果,。
D.曲線掃描功能(選件)
在MOSFET的參數(shù)中,,CV特性曲線也是一個非常重要的指標(biāo),如下圖
TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀支持C-V特性曲線分析,,可以以對數(shù),、線性兩種方式實現(xiàn)曲線掃描,可同時顯示多條曲線:同一參數(shù),、不同Vg的多條曲線,;同一Vg、不同參數(shù)多條曲線,。
E.接觸檢查(Contact)功能,,提前排除自動化測試隱患
F.快速通斷測試(OP_SH),排除損壞器件
在半導(dǎo)體器件特性測試時,由于半器件本身是損壞件,,特別是多芯器件其中一個芯已經(jīng)損壞的情況下,,測試雜散電容仍有可能被為合格,而半導(dǎo)體器件的導(dǎo)通特性才是最重要的特性,。
因此,,對于本身導(dǎo)通特性不良的產(chǎn)品進(jìn)行C-V特性測試是沒有必要的,不僅僅浪費了測量時間,,同時會由于C-V合格而混雜在良品里,,導(dǎo)致成品出貨后被退回帶來損失.
TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀提供了快速通斷測試(OP_SH)功能,可用于直接判斷器件本身導(dǎo)通性能。
G.模組式器件設(shè)置,,支持定制
針對模組式器件如雙路(Dual)MOSFET,、多組式IGBT,有些器件會有不同類型芯片混合式封裝;TH510系列CV特性分析儀針對此情況做了優(yōu)化,,常見模組式芯片Demo已內(nèi)置,,特殊芯片支持定制.
H.簡單快捷設(shè)置
I.10檔分選及可編程HANDLER接口
J.支持定制化,智能固件升級方式
同惠儀器對于客戶而言是開放的,,儀器所有接口,、指令集均為開放設(shè)計,客戶可自行編程集成或進(jìn)行功能定制,,定制功能若無硬件更改,,可直接通過固件升級方式更新。
儀器本身功能完善,、BUG解決、功能升級等,,都可以通過升級固件(Firmware)來進(jìn)行更新,,而無需返廠進(jìn)行,。
固件升級非常智能,可以通過系統(tǒng)設(shè)置界面或者文件管理界面進(jìn)行,,智能搜索儀器內(nèi)存,、外接優(yōu)盤甚至是局域網(wǎng)內(nèi)升級包,并自動進(jìn)行升級
K.技術(shù)解決Ciss,、Coss,、Crss、Rg產(chǎn)線/自動化系統(tǒng)高速測試精度
同惠電子在電容測試行業(yè)近30年的經(jīng)驗積累,,得以在產(chǎn)線,、自動化測試等高速高精度測試場合,都能保證電容,、電阻等測試精度,。
常規(guī)產(chǎn)線測試,提供標(biāo)準(zhǔn)0米測試夾具,,直插器件可直接插入進(jìn)行測試,,Ciss、Coss,、Crss,、Rg測試精度高。
針對自動化測試,,由于自動化設(shè)備測試工裝通常需要較長連接線,,大多自動化設(shè)備生產(chǎn)商在延長測試線時會帶來很大的精度偏差,為此,,同惠設(shè)計了2米延長線并內(nèi)置了2米校準(zhǔn),,保證Ciss,、Coss,、Crss、Rg測試精度和0米測試夾具一致,。
L.半導(dǎo)體元件寄生電容知識
在高頻電路中,,半導(dǎo)體器件的寄生電容往往會影響半導(dǎo)體的動態(tài)特性,,所以在設(shè)計半導(dǎo)體元件時需要考慮下列因數(shù)
在高頻電路設(shè)計中往往需要考慮二極管結(jié)電容帶來的影響;MOS管的寄生電容會影響管子的動作時間,、驅(qū)動能力和開關(guān)損耗等多方面特性,;寄生電容的電壓依賴性在電路設(shè)計中也是至關(guān)重要,以MOSFET為例,。
M.標(biāo)配附件
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應(yīng)用
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■ 半導(dǎo)體元件/功率元件
二極管,、三極管、MOSFET,、IGBT,、晶閘管,、集成電路、光
電子芯片等寄生電容測試,、C-V特性分析
■ 半導(dǎo)體材料
晶圓切割,、C-V特性分析
■ 液晶材料
彈性常數(shù)分析
■電容元件
電容器C-V特性測試及分析,電容式傳感器測試分析
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技術(shù)參數(shù)
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產(chǎn)品型號
TH511
TH512
TH513
通道數(shù)
2(可選配4/6通道)
1
顯示
顯示器
10.1英寸(對角線)電容觸摸屏
比例
16:9
分辨率
1280×RGB×800
測量參數(shù)
Ciss,、Coss,、Crss、Rg,,四參數(shù)任意選擇
測試頻率
范圍
1kHz-2MHz
精度
0.01%
分辨率
10mHz 1.00000kHz-9.99999kHz
100mHz 10.0000kHz-99.9999kHz
1Hz 100.000kHz-999.999kHz
10Hz 1.00000MHz-2.00000MHz
測試電平
電壓范圍
5mVrms-2Vrms
準(zhǔn)確度
±(10%×設(shè)定值+2mV)
分辨率
1mVrms 5mVrms-1Vrms
10mVrms 1Vrms-2Vrms
VGS電壓
范圍
0 - ±40V
準(zhǔn)確度
1%×設(shè)定電壓+8mV
分辨率
1mV 0V - ±10V
10mV ±10V -±40V
VDS電壓
范圍
0 - ±200V
0 - ±1500V
0 - ±3000V
準(zhǔn)確度
1%×設(shè)定電壓+100mV
輸出阻抗
100Ω,,±2%@1kHz
數(shù)學(xué)運算
與標(biāo)稱值的絕對偏差Δ,與標(biāo)稱值的百分比偏差Δ%
校準(zhǔn)功能
開路OPEN,、短路SHORT,、負(fù)載LOAD
測量平均
1-255次
AD轉(zhuǎn)換時間(ms/次)
快速+:0.56ms(>5kHz) 快速:3.3ms 中速:90ms 慢速:220ms
最高準(zhǔn)確度
0.5%(具體參考說明書)
Ciss、Coss,、Crss
0.00001pF - 9.99999F
Rg
0.001mΩ - 99.9999MΩ
Δ%
±(0.000% - 999.9%)
多功能參數(shù)列表掃描
點數(shù)
50點,,每個點可設(shè)置平均數(shù),每個點可單獨分選
參數(shù)
測試頻率,、Vg,、Vd、通道
觸發(fā)模式
順序SEQ:當(dāng)一次觸發(fā)后,,在所有掃描點測量,,/EOM/INDEX只輸出一次
步進(jìn)STEP:每次觸發(fā)執(zhí)行一個掃描點測量,每點均輸出/EOM/INDEX,,但列表掃描比較器結(jié)果只在最后的/EOM才輸出
圖形掃描
掃描點數(shù)
任意點可選,,最多1001點
結(jié)果顯示
同一參數(shù)、不同Vg的多條曲線,;同一Vg,、不同參數(shù)多條曲線
顯示范圍
實時自動、鎖定
坐標(biāo)標(biāo)尺
對數(shù),、線性
掃描參數(shù)觸發(fā)方式
Vg,、Vd
單次
手動觸發(fā)一次,從起點到終點一次掃描完成,,下個觸發(fā)信號啟動新一次掃描
連續(xù)
從起點到終點無限次循環(huán)掃描
結(jié)果保存
圖形,、文件
相關(guān)產(chǎn)品
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