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選擇勻膠機(jī)/旋涂?jī)x應(yīng)該注意哪幾個(gè)細(xì)節(jié),？
勻膠機(jī)有很多種稱(chēng)謂,，英文叫SpinProcessor或者SpinCoater,，又稱(chēng)甩膠機(jī)、勻膠臺(tái),、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī),、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī),、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī),、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀,、旋轉(zhuǎn)涂膜儀,、勻膜機(jī)，總的來(lái)說(shuō),，他們?cè)矶际且粯拥?，既在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類(lèi)膠液,，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān),。
針對(duì)目前勻膠機(jī)市場(chǎng)品牌眾多的情況,，綜合多年從事勻膠機(jī)技術(shù)研究的實(shí)際經(jīng)驗(yàn)，為幫助廣大用戶(hù)提高辨別能力,，下面為大家提供直觀明確的選擇標(biāo)準(zhǔn),。從其原理來(lái)說(shuō)，我們可以看出選購(gòu)勻膠機(jī)需要注意的幾個(gè)細(xì)節(jié)：
1,、真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造
真空泵一定要無(wú)油的,，壓力標(biāo)定準(zhǔn)確，國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的無(wú)油真空泵實(shí)在不敢恭維,。因?yàn)槿魏蔚挠臀鄱伎赡芏氯婵展艿?，如果真空吸附力降低,，?huì)導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生的情況，還會(huì)讓滴膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成完全堵塞,。用過(guò)國(guó)產(chǎn)勻膠機(jī)的客戶(hù)常常會(huì)關(guān)心怎么清洗的問(wèn)題,，這一點(diǎn)許多國(guó)外的勻膠機(jī)做得不錯(cuò)，他們有通過(guò)聯(lián)動(dòng)機(jī)制,，如果真空吸附力不夠的時(shí)候,，不會(huì)開(kāi)始旋轉(zhuǎn)。
2,、旋轉(zhuǎn)速度
轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性,。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速如果誤差很大，對(duì)于要求精密涂覆的科研人員來(lái)說(shuō)是無(wú)法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的,。國(guó)產(chǎn)的某些勻膠機(jī)只能提供轉(zhuǎn)速范圍,，并不能精確標(biāo)定實(shí)時(shí)的轉(zhuǎn)速。進(jìn)口的勻膠機(jī)雖然大部分能標(biāo)定轉(zhuǎn)速,，但是大部分轉(zhuǎn)速精度沒(méi)有國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)定,。建議購(gòu)買(mǎi)轉(zhuǎn)速控制方面有國(guó)際認(rèn)定標(biāo)準(zhǔn)的，比如：美國(guó)NIST標(biāo)準(zhǔn)等,。
3,、材質(zhì)的選擇
對(duì)于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用來(lái)說(shuō)，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵,，大部分勻膠機(jī)采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì),，因?yàn)檫@種材質(zhì)的成本很低，不銹鋼的對(duì)于各類(lèi)化工膠液的抗腐蝕性不太好,，塑料對(duì)于較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形,。如果這種變形引起托盤(pán)的位置失去水平的話(huà)，將會(huì)導(dǎo)致旋涂時(shí),，時(shí)高時(shí)低的顛簸狀態(tài),。自然無(wú)法得到好的旋涂效果。目前有些國(guó)外品牌采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯(特氟隆)材質(zhì),。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源,、重量輕,、強(qiáng)度大、抗沖擊性能好,、堅(jiān)固耐用,、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點(diǎn),。安賽斯（中國(guó)）有限公司提醒廣大客戶(hù)：在選購(gòu)勻膠機(jī)的同時(shí),，一定要注意品牌和質(zhì)量,，價(jià)格其次，市場(chǎng)上的勻膠機(jī)層次不齊,，客戶(hù)在購(gòu)買(mǎi)時(shí)要慎重考慮,。
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